中古 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643260 を販売中

KAWASAKI 30C63E-A003は、高精度で信頼性の高い性能を実現するウエハハンドラです。半導体業界で使用するために特別に設計されています。30C63E-A003は、ウェーハカセットを主加工室に出入りさせることができるデュアルロボットアーム設計を特徴としています。ロボットアームは正しいカセットを検出してつかむことができ、ヒューマンエラーを排除し、高精度と信頼性を提供します。KAWASAKI 30C63E-A003には信頼性の高い真空ウエハ吸引装置が搭載されており、不適切な取り扱いによりウエハが損傷しないようにしています。また、ロボットアームとは独立しており、ロボットアームを使用せずに個々のウェハ操作が可能です。30C63E-A003には高度なグラファイトシートコンベアユニットが組み込まれており、ウェハとロボットアームの間の滑り止めレイヤーとして機能します。グラファイトシートはまた、ウェーハの損傷を軽減します。ウェハカセットローダーとゲートバルブの間の通路スペースにコンベア機を戦略的に配置し、複数のウェハを一度に取り扱うことができます。KAWASAKI 30C63E-A003は、アクセシビリティと操作を容易にするように設計されています。ロボットアームは、正確なピックアップと配置のために所望の位置に調整することができ、これはアームの簡単な回転で素早く調整することができます。また、ロボットアームは左右、上下に動かすことができます。そして単位はより大きい安定性のための平らな表面に付けることができます。30C63E-A003のフロントエンドには、メインチャンバーへの入力を制御するための手動ゲートバルブがあり、ウェーハの挿入と取り外しに迅速かつ簡単にアクセスできます。このゲート弁は機械ドライブユニットおよび電子コントローラーによって作動させます。さらに、ゲートバルブには、安全な動作温度を確保するための温度測定装置が装備されています。カワサキ30C63E-A003には、ウェーハ加工時に発生する熱を効率的に管理する冷却ツールも含まれています。冷却アセットは、内部部品が過熱するのを防ぐためにウェーハチャンバーを通して空気を循環させ、またエンクロージャ内の凝縮の蓄積を防ぎます。30C63E-A003は信頼性の高い高精度ウェハハンドラであり、半導体業界におけるウェハーの処理にかかる時間と困難な作業を自動化するために設計されています。単位は二重ロボットアームの設計を特色にします；信頼できる真空のウエファーの吸引モデル；グラファイトシートのコンベヤー装置；操作しやすいゲートバルブです。また、カワサキ30C63E-A003は、ウェーハ加工時に発生する熱を管理する冷却システムを備えています。