中古 KAWASAKI 30C63E-A003 #293643259 を販売中
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KAWASAKI 30C63E-A003ウエハハンドラは、半導体業界のニーズに合わせて設計されたウエハハンドリングソリューションです。機器の主なコンポーネントには、ロボットアーム、真空グラバー、ホルダーとツールの範囲が含まれます。ロボットアームは3軸プラットフォームに搭載されており、X軸、 Y軸、Z軸の精密な動きを実現しながら、隣接するウェーハやその他のオブジェクトとの干渉を回避します。真空グラバーは、異なるウェーハサイズに対応するように調整することができ、ウェーハの高速かつ効率的なロードとアンロードを可能にします。アームとグラバーに加えて、30C63E-A003はハンドリング処理中にウェーハを安全に保持するためのさまざまなホルダーを備えています。ラウンドウェーハホルダーから、より大きな長方形の溝ホルダーまで、さまざまなウェーハ形状やサイズの安全かつ安全な取り扱いを可能にします。ホルダーは、表面を洗浄するためのブラシや、ウェーハをピックアップして配置するためのピンセットなど、ウェーハ処理プロセスのさまざまな段階に適したさまざまなツールと統合されています。KAWASAKI 30C63E-A003は、取り扱い中のウェーハの損傷を最小限に抑えるように設計されています。アームとグラバーには、他の部品との接触を防ぐための衝突防止システム(ACS)が装備されていますが、真空グラバーはウェーハを静かに保持し、静かに取り扱うように設計されています。さらに、ユニットのソフトウェアは、最大精度と精度でアームとグラバーをゆっくり動かすようにプログラムされています。最後に、30C63E-A003は操作の便利そして効率を提供します。これは、単一のコンピュータ数値制御(CNC)マシンで動作することができ、高速、効率的かつ信頼性の高い操作を可能にします。内蔵の診断ツールは、メンテナンス操作を検出して実行する簡単で手間のかからない方法も提供し、資産を損傷から保護します。KAWASAKI 30C63E-A003は、半導体業界にとって安全で効率的なウェハハンドリングソリューションを提供するために設計された先進的なウェハハンドラです。ロボットアームの精密移動、さまざまなウェハホルダーとツール、ウェーハの安全な取り扱いのためのアンチコリジョンモデル技術、単一のCNC装置による効率的で安全な操作を提供します。
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