中古 JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/L #9259819 を販売中

JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/Lは、繊細な半導体ウェーハを扱うために特別に設計された高精度ウェーハハンドラです。ハンドリング時のウェーハの正確なアライメントを確保するために、高度なリニアポジショナーを装備しています。このポジショナーは、ポジショナーの動きの高精度を保証する制御ユニットとインターフェースされています。SLR 200 LPTS/Lは、3つの独立した運動軸（X、 Y、 R）を備えており、あらゆるサイズと形状のウェーハを最大限に柔軟に処理できます。X軸はウェーハを135mmから270mmに、Y軸はウェーハを165mmから280mmに、R軸はウェーハを375°から無限度に動かすことができます。SLR 200 LPTS/Lは、シリコン、SiGe、 GaAs、およびその他の材料のすべてのグレードを含む幅広い基板に対応できます。直径200mmから330mmまで、あらゆるサイズと形状のウェーハをサポートします。さらに、洗浄、脱落、エッチング、研磨まで幅広い工程が可能です。また、複雑なウェーハ検査や計測タスクを実行することもできます。また、ハンドリング時のウェーハ検出や潜在的な損傷を検出するアラート機構など、包括的な安全機能を備えています。SLR 200 LPTS/Lには、テスト済みのプロセスをスケーリングするためのソフトウェアプロトコル、プロセスパターンのスケジューリング、自動化されたテストシーケンス、およびその他の高度な機能を備えた洗練されたソフトウェアパッケージが付属しています。ソフトウェアパッケージはまた、任意の場所からマシンのリモート制御と監視を可能にします。全体として、JENOPTIK INFAB SLR 200 LPTS/Lは、半導体業界のさまざまな基板の高精度な処理と自動処理用に設計された高精度ウェハハンドラです。その高度なリニアポジショナー、広範なモーションレンジ、包括的な安全機能、および洗練されたソフトウェアパッケージは、さまざまなウェーハ処理タスクに特に適しています。