中古 JEL GHR4206-320-PM-02194 #9396484 を販売中

JEL GHR4206-320-PM-02194ウェハハンドラは、半導体製造におけるウェハーの加工を自動化するために設計された先進的なロボットハンドリング装置です。コンパクトなスプリットレール構成で、2つのブラシレスDCモーターをサイドレールに取り付け、正確な高速移動を実現しています。ウェーハは静電気防止設備付き伝達機構に取り付けられ、直径8インチまでのウェーハを安全かつ一貫した処理が可能です。GHR4206-320-PM-02194は3段階の真空ウェーハ伝達システムを備えており、ウェーハの迅速かつ正確な取り扱いを可能にします。その精密設計は± 1 μ mの正確さの速く、反復可能な位置を提供します。統合されたライトカーテンはSMIF互換の生産ラインへの容易な統合のためのSMIFインターフェイスサポートを提供します。また、トランジット中にウェーハをサポートする真空チャックユニットを装備し、ウェーハの信頼性と安全性を確保しています。統合された機械は高いスループット率の連続的な生産のために設計されています。最適なハンドリング条件を確保し、ウェーハの損傷を防止するために、2つの圧力センサが付属しています。JEL GHR4206-320-PM-02194は、ツールの拡張と拡張が容易なモジュール構成を採用しています。統合されたヒーターはウェーハの温度調整を提供し、ウェーハの一貫した、均一な処理を保障します。ウェハハンドリングアセットは、データの観察とロギング機能も提供し、生産プロセスの詳細な分析を可能にします。最適なハンドリング条件を確保するために、アクティブなフィードバックモデルが含まれています。システムの診断とトラブルシューティングには、内蔵の診断機器を使用できます。GHR4206-320-PM-02194はCEに準拠しており、インストールの柔軟性を高めるためにいくつかの実装ソリューションで利用できます。JEL GHR4206-320-PM-02194は、ウェーハ処理を容易かつ信頼性の高いものにするために設計された高度な自動化ソリューションです。モジュール構成により、コストを削減し、試運転時間を短縮できます。また、統合されたシステムにより、生産プロセスの追跡と監視が改善されます。GHR4206-320-PM-02194ウェーハハンドラは、ウェーハ処理の自動化を求める半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。