中古 JEL GHR4180-280-PM-02931 #9111139 を販売中

JEL GHR4180-280-PM-02931ウェーハハンドラは、半導体製造のためのウェーハを処理するための最先端の自動化ツールです。3インチ、4インチ、6インチウエハなどの大型基板の高精度移動を可能にし、高速生産と製品歩留まり向上をサポートします。JEL GHR 4180-280-PM-02931は、お客様のニーズに合わせてアプリケーションを簡単に拡張できるモジュラーコンセプトで設計されています。内部と外部の両方のチャンバーを持ち、チャンバー内に圧力センサーを備えています。内部のチャンバーには8つのウェーハステージがあり、一度に最大8つの基板、または直径8インチまでの1つの大きな単一の基板を受け入れることができます。GHR4180-280-PM-02931は10mm/sまで基質を動かすことができ、単方向および可逆的な動きを達成するために二重線形モーターを含んでいます。静電気放電を低減するイオナイザーと、正確な位置決めのためのCCDビジョンシステムを備えています。統合された制御システムは、エンコーダとセンサーを使用しており、正確な動きとウェーハ処理のための正確な位置フィードバックを提供します。GHR 4180-280-PM-02931は、ウェハステージに加えて、真空チャックテーブル、昇降機構、基板サイズに合わせて簡単に調整できるチルトテーブルも備えています。この昇降機構により、基板表面の10ミクロン以内にウェハを正確に配置することができ、チルトテーブルによりチルト角度を微調整することができます。JEL GHR4180-280-PM-02931には使いやすいソフトウェアが搭載されており、簡単な操作とカスタムプログラミングが可能です。自動化されたさまざまな生産ラインや手動バッチ操作で使用できます。このツールは、ロボット、ウェーハアライメントシステム、およびその他のウェーハハンドリングシステムを含む幅広い周辺機器とインタフェースするように設計されています。全体として、JEL GHR 4180-280-PM-02931は、自動半導体製造のために設計された最先端のウェハハンドラです。直径8インチまでの大型基板に対応可能で、デュアルリニアモータ、イオナイザー、ビジョンシステム、傾斜角度を微調整するチルトテーブルなどの高度な機能を備えています。そのユーザーフレンドリーなソフトウェアは、周辺機器との統合を容易にし、ユーザーの正確な要件に合わせてカスタムプログラマビリティを可能にします。