中古 JEL 9808005 #9396478 を販売中

JEL 9808005ウエハハンドラは、ウエハ加工ラインに不可欠な部品です。このデバイスは、直径5インチまでのウェーハの正確で信頼性の高い取り扱いを可能にするように設計されています。ハンドラの主な特徴は、ハイスループットコンベア、ウェーハ搬送装置、およびウェーハセンタリングです。コンベアは低摩擦高分子材料で作られており、粒子やコンタミネーションの摂取を最小限に抑えながら、毎時14ウェーハまでの高スループットを実現します。コンベアは、調整可能なテンショナーを備えた複数の小さな車輪を使用して、追加の力を必要とせずに移動の連続性を確保します。また、ウェーハの厚さと直径を正確に測定するために、一連のセンサーとリフターが付属しています。ウェーハ搬送システムは、コンベアからセンタリングおよびアライニング機構にウェーハを搬送します。下側にインデックススライドレール、上側に精密電動ポジショニングマシンを備えたユニークな2部構造のガイドユニットにより、高い位置決め精度を実現します。ウェーハセンタリングとアライニングメカニズムは、さまざまなタスクを実行するように設計されています。まず、センタリング機構はスプリングピンを多数使用して、すべてのウェーハが輸送前に中央に配置されていることを確認します。第二に、ウェーハアライメント機構は、入力ウェーハの垂直方向および水平方向のアライメントを自動的に調整する精密ローラーを使用します。また、正しいアライメントにないウェーハの自動転送を防止する安全スイッチも付属しています。最後に、9808005ウエハハンドラにはインラインモニタリング機能も装備されています。ビジョンアセットはソフトウェアと統合されており、ウェーハのトランスポート、アライメント、およびセンタリングで起こりうるエラーを検出します。さらに、ウェハハンドラはメンテナンスとクリーニングを最小限に抑え、より大きなシステムに簡単に統合できるように設計されています。要するに、JEL 9808005ウエハハンドラは、さまざまなアプリケーションにおいて効果的なウエハー処理を保証するために設計された信頼性と高精度のウエハハンドラです。このデバイスの独自の機能により、高いスループット能力を備えたウェーハの正確な取り扱いと、安全な搬送とエラーのリアルタイム検出のためのモニタリングセンサーおよびビジョンシステムが可能になります。