中古 JEL 10312196 #9396369 を販売中
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JEL 10312196は、ベアウエハまたは半導体ウエハを保護し、輸送するように設計されたウエハハンドラです。ウェーハを安全に保持し、加工機器間で安全に移動できるようにするさまざまな機能を備えた完全自動化されたマシンです。このウェーハハンドラは、ウェーハを保持するための固定具を内蔵しています。この治具は、耐久性のあるステンレス合金フレームから構成されており、ウェハを固定するために2つのフルレングスのサーボ駆動クランプが使用されています。クランプはフレーム内で調整可能で、さまざまなウエハサイズや形状にフィットします。フレーム内にはガイドスロットもあり、ウェーハの整合性を維持し、輸送中に確実に保持することができます。ウエハハンドラは、OSD制御のリフト&ロック機構も備えています。このメカニズムはクランプと組み合わせて動作し、ウェーハを安全に保ちます。ウエハをハンドラに装填すると、OSDはメカニズムを上向きに動かしてウェハを緩やかにロックし、シフトを防ぐことができます。リフトアンドロック機構は、輸送中の振動やその他の外部力からウェーハを保護するのにも役立ちます。このウェハハンドラは標準的なウェハー処理装置と互換性があるように設計されています。自動化されたワークフローで、さまざまなマシン間でウェーハを輸送するために使用でき、システムの柔軟性と効率性を実現します。また、直感的な制御ソフトウェアを備えており、ハンドラの機能を簡単にプログラムして制御することができます。最後に、10312196ウェーハハンドラには、ウェーハが安全に保持され、輸送中に損傷が生じないように設計された多数の安全機能が付属しています。これにはアンチドリフト機能が含まれており、素早い動きでウェーハを維持するだけでなく、ウェーハ領域の限界検出も可能であり、ウェーハが他のハンドラやマシンと接触するのを防ぎます。JEL 10312196ウェーハハンドラは、加工機器間でウェーハを確実かつ効率的に輸送する方法です。耐久性のある材料で構成され、直感的なソフトウェアシステムを備え、ウェーハの安全な取り扱いと輸送を保証するさまざまな安全機能を備えています。
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