中古 ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 #293602549 を販売中

ID: 293602549
ヴィンテージ: 2013
Wafer handling robot 2013 vintage.
ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 Wafer Handlerは、半導体業界における個々のウェーハの効率的な取り扱い、ロード、アンロードのために設計された自動デバイスです。自動化されたウェハハンドリング装置により、高い精度と再現性を実現します。IWH-BA13S24HDF-3にはX軸とZ軸の2軸で構成されたキャリッジフレームがあり、2つのブラシレスDCサーボモータによって制御され、高速動作と正確な位置決めを提供します。X軸ムーブメントは、1つのDCサーボモータとリゾルバで制御され、さまざまな加速および減速プロファイルで幅広い動作を提供します。モーターは多軸操作を実行できるISEL ROBOTIK ULTRAROBコントローラーによって制御されます。Z軸の動きは、別のDCサーボモータによって制御され、ウェーハの垂直移動に使用されます。また、X軸とZ軸の両方でウェーハ位置を調整する光学位置決めシステムも備えています。Z軸は重量2000N(=200kg)まで持ち上げることができ、より重い部品に適しています。ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3 Wafer Handlerには、ウェーハ計測とアライメントユニットがあり、個々のウェーハの正確な積み下ろしが可能です。アライメントと測定機は、CCDカメラと光源の組み合わせで、ウェーハの位置と向きを測定するために明るい光を生成します。ローディング・アンロード機能に加え、ウェーハハンドラーIWH-BA13S24HDF-3ピン検査も可能です。空気圧式プローブを使用しており、ウェーハホルダーのスロットだけでなく、その上にロードされるコンポーネントの高さと寸法を測定します。この方法は、ウェーハの迅速かつ正確な測定を可能にし、プロセスの品質を確保するのに役立ちます。さらに、ISEL ROBOTIK IWH-BA13S24HDF-3には真空ツールが搭載されており、取り扱い中やロード中に個々のウェーハをグリップして固定するのに役立ちます。さらに、真空アセットは、プロセスの化学物質や塵からの潜在的な汚染に耐えるように設計されており、部品の安全性を確保しています。IWH-BA13S24HDF-3は、大量のウェハを処理するための大容量の高効率で時間を節約するウェーハ処理装置です。ウェーハの積み下ろし、ピン検査、ウェーハ測定など、さまざまな工程を自動化し、精度の高い再現性の高い工程を実現します。このデバイスは、生産性とコスト効率を向上させるための効率的なソリューションを提供し、さまざまな生産環境で実装することもできます。
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