中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208 #9286620 を販売中

ID: 9286620
Wafer system Type: Navigator.
IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208ウェーハハンドラは、さまざまなアプリケーションで使用するために設計された汎用性と信頼性の高いツールです。大部分のウエハーを幅広いサイズで取り扱うことができ、変更を必要としません。IRVINE OPTICAL Ultrasort 208のモジュール設計により、最大3つの別々の負荷およびアンロードステーション、およびそれらの間をウェーハを移動する輸送ステーションを備え、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズできます。BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208には、指定されたエリアに自動的にウェーハを移動できるソーターも装備されています。Ultrasort 208には、精度と信頼性を確保するために複数のセンサーが装備されています。容量性および超音波センサーシステムを使用して、搬送またはソートの前後にウェーハの存在を検出します。静電容量センサは、ウェーハの重量を検出してウェーハの存在を検出し、有効なウェーハの搬送と並べ替えのみを試みます。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208は、リニアモータまたはロータリーモータを使用してウェーハの動きを検出し、それに応じてヘッドの位置を調整するクローズドループ追跡システムも備えています。これにより、マシンはウェーハを正確に配置することができます。IRVINE OPTICAL Ultrasort 208には、故障時に最高レベルの安全性を確保するための安全メカニズムが内蔵されています。異常を検知したときに作動する非常停止機能を搭載しており、手動でシャットダウンすることなく、オペレータが安全に機械の動作を停止することができます。さらに、BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208には、3つの負荷ステーションとアンロードステーションのそれぞれに、ドアの接触安全スイッチを含む一連のインターロックが装備されています。これは、駅のドアが開いているときにシステムの誤った動作を防ぎます。Ultrasort 208は、2〜7mmのさまざまな厚さのウェーハに対応できます。さらに、直径300mmまでのウェーハにも対応可能で、幅広い用途に適しています。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208は、幅広いソートおよびローディング機能を提供し、さまざまなウェーハ選別要件に対応します。全体として、IRVINE OPTICAL Ultrasort 208ウエハハンドラは、幅広い用途に適した優れたツールであり、さまざまなウエハサイズと種類の正確で信頼性の高いハンドリングを提供します。
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