中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208 #9229200 を販売中
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IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208は、さまざまな先進的な半導体加工アプリケーションに使用される多機能ウェーハハンドラです。100mm〜200mmまでのウエハサイズに対応可能です。半導体製造プロセス内で効率的にウェーハを輸送するように設計されています。この装置は、手動および自動ウェーハ処理機能を備えています。IRVINE OPTICAL Ultrasort 208は、耐久性のあるステンレス鋼構造のモジュラー設計を特徴とし、拡大された内部チャンバーを備えています。この機能により、ウェーハのロードとアンロードの柔軟性が向上し、クリーニングとメンテナンスのアクセシビリティが向上します。このシステムには、自己完結型のローディング/アンローディングユニットとオプションのトレイドライブモータが含まれているため、既存の生産システムに簡単に統合できます。このマシンには、正確なウェーハマッピングと位置決めのための高度なセンサーが装備されています。このマシンには更新されたオープンアーキテクチャソフトウェアパッケージがあり、ウェーハハンドリングルーチンの手動および自動プログラミングを可能にします。これにより、ウェーハの効率的かつ再現性の高い処理が可能になります。また、将来使用するためのデータキャプチャとストレージも可能です。BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208は、完全に密閉された環境を持ち、高度な空気管理ツールを使用して塵の汚染を最小限に抑えます。人間工学に基づいて設計されたアクセスポートにより、ウェーハの安全で簡単なロードとアンロードが可能です。このユニットには、さまざまなウェーハサイズに対応する調整可能なフィーダーも装備されています。さらに、この資産には、オペレータとウェーハを潜在的な危険から保護するように設計された高度な安全機能が装備されています。安全機能には、チャンバーが安全でない状態にあるときに認識するインターロック、緊急停止、および光学センサーが含まれます。これにより、安全な場合にのみモデルが動作するようになります。Ultrasort 208は作動し、維持すること容易です。コンパクトな設計で、生産ライン内のボトルネックを最小限に抑えることができます。また、クリーンでパーティクルフリーな作業エリアを維持するために使用できる追加の「リンスステーション」を装備しています。全体として、IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION Ultrasort 208は、半導体加工アプリケーション向けの信頼性と効率の高いウェハハンドラです。柔軟性、安全性、生産性を最大化するように設計されており、あらゆるクリーンルーム環境に最適です。
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