中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION SCS 3000 #293601072 を販売中
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IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS 3000ウェーハハンドラは、半導体デバイスの大量生産に使用される高性能ツールです。スループットを向上させ、スループットの均一性を向上させ、サイクルタイムを短縮し、歩留まりを向上させるように設計された、完全に自動化されたデュアルステージの機器です。IRVINE OPTICAL SCS 3000は、デュアルトラックシステムと大型メカニカルアレイを備えた2段ハンドラで構成されています。この2段ハンドラには、カセット間の搬送機構とロボットスキャンアームからなる第1段ウェハハンドラが含まれています。ロボットスキャンアームは、カセットからデュアルトラックユニットにウェーハを安全に輸送するように設計されています。デュアルトラックマシンは、ウェーハのアライメントと操作のために、8軸の回転テーブルを介してウェーハに供給します。また、デュアルトラックツールは、コヒーシブガスの供給を制御し、その速度を自動的に調整してスループットを最大化し、ユニット間のサイクル時間を最小限に抑えます。これにより、サイクル時間を短縮し、スループットの均一性とスループット率を向上させ、歩留まりを向上させることができます。ウェーハの総輸送時間はわずか11秒です。BROOKS AUTOMATION SCS 3000 Wafer Handlerで使用されるロボットは、最高の効率と信頼性を目指して設計されています。ウェハハンドラの自動制御により、すべての運用プロセスが常に監視され、安全で効率的な運用が可能になります。ウェーハソーターとウェーハピッカーで構成されるマテリアルハンドリングアセットは、適切なウェーハが正しい方向で処理されるようにするのに役立ちます。SCS 3000ウェーハハンドラは柔軟に設計されており、さまざまなウェーハフォーマット、ウェーハマガジン、およびさまざまなウェーハサイズを可能にします。この柔軟性により、最大のスループットを実現し、ウェハハンドラはデバイスアセンブリ、ダイマウント、ダイアタッチなどの幅広いアプリケーションに適しています。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION SCS 3000ウェーハハンドラーは、ウェーハや機械への損傷を防ぐ多数の安全機能を備えています。これらの機能には、ウェーハエッジ保護、ウェーハボウル保護、およびウェーハシャワーアセンブリ保護が含まれます。これらの機能はすべて、最高品質の製品を保証し、潜在的な故障や事故を排除するように設計されています。全体として、IRVINE OPTICAL SCS 3000ウェハンドラは、半導体デバイスの自動生産のための高効率で高性能なツールです。それは柔軟性、効率、安全性、および正確さのために設計されています。これにより、幅広い半導体アプリケーションに最適です。
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