中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9228147 を販売中

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XTウェハハンドラは、クリーンルーム環境でロードされたウェハカセットを輸送および処理するために使用される最先端のロボット機器です。このシステムは、半導体製造プロセスの生産自動化に最適化されたスタンドアロンツールです。IRVINE OPTICAL APS 2XTは、高度なセンサー、モーターコントローラ、ロボットモーション制御技術をコンパクトに統合し、効率、柔軟性、精度を最大限に高めます。ウェハトランスファーと処理作業全体を最適に制御するために、幅広いエンジニアリングシステムからの入力を受け入れるように設計されています。このウェハハンドラには、アセンブリ全体をサポートするベースプレートが含まれており、ロードされたウェハカセットを適切に処理するためのステーションセンシング機能を提供します。ロボットアームは、モータのトルクと放熱を最小限に抑えるように設計されており、積極的な加速を可能にしながら、正確な再現性を提供します。ロボットアームには、位置読み出しやビジョンソフトタッチ操作などの機能も搭載しています。これにより、大きなウェハカセットを使用しても、ウェハハンドリング操作の品質と再現性が高い一貫性を維持できます。統合ビジョンマシンは、CCDカメラとLED照明ツールの両方を利用しています。これにより、ノイズ干渉が検出されない、明るく均等に照らされたウェーハカセットのイメージが保証されます。このビジョンアセットには、BROOKS AUTOMATION APS 2XTがウェーハカセットを区別し、さらにソートプロセスを自動化できる4色のラベル読み取り機能も含まれています。APS 2XTには、操作をリアルタイムで監視しながらワークフローをカスタマイズできるユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。ユーザーインターフェイスは、自己診断とメンテナンスアラートも提供します。これにより、オペレータはモデルのパフォーマンスを最適化するための調整を行う際に必要な情報を確実に受け取ることができます。さらに、IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XTは、安全性を高め、ロードされたウェーハを汚染から保護する多数のセキュリティ機能を備えています。これには、ロードされたウェーハへの不正アクセスを防止する物理ロック装置と、静電気による敏感な部品の影響を防ぐ静電気放電（ESD）ガードが含まれます。IRVINE OPTICAL APS 2XTは、半導体メーカーに総所有コストのメリットを提供する汎用性と高度なウェハハンドラです。効率的な設計と信頼性の高い運用とコスト削減機能を組み合わせることで、高度なウェーハ処理環境に最適です。