中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2XT #9160691 を販売中

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XTは、ウェーハ処理に精密な自動化と高スループットを提供するように設計された自動ウェーハハンドラです。IRVINE OPTICAL APS 2XTは、さまざまなツールやプロセスと簡単に統合できる完全自動ウェーハ搬送装置です。BROOKS AUTOMATION APS 2XTは、完全なプロセスの自動化、柔軟性、拡張性を提供しながら、遅延を減らし、人的エラーを制限するように設計されています。ウェーハストレージ、加工、ハンドリング、乾燥のための複数のオプションが装備されており、すべてがお客様の個々のアプリケーションの要求に合わせて調整することができます。APS 2XTは、200mm、 300mm、 400mmのウェーハに対応でき、最大速度は毎時120ウェーハで、全体的なプロセスを簡素化します。さらに、このシステムは、異なる直径と厚さのウェーハを区別することができます。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XTは薄くて厚いフィルムの沈殿、エッチング、薄くなること、ダイシングおよびラッピング、ウェーハのベーキング、およびテストのようなウェーハ処理の適用の範囲で使用することができます。さらに、このマシンは、バックプレスレギュレータ、バルブ、コンテナフィラーなどのさまざまなポンプやアクセサリ、およびオプションの統合計測システムで構成することができます。IRVINE OPTICAL APS 2XTは使いやすく、オペレータの介入を最小限に抑える必要があります。このユニットのタッチスクリーンユーザーインターフェイスはリアルタイムのフィードバックを提供し、ユーザーはプロセスが進行するにつれてプロセスを監視および追跡することができます。さらに、マシンの最適化ソフトウェアを使用して、プロセスを最適化するために任意の動作パラメータを識別して調整することができます。信頼性と反復可能な性能を確保するために、BROOKS AUTOMATION APS 2XTは多くの機能を備えています。これらの機能には、モーションコントロールコンポーネントと真空システム、および24時間365日の厳しい動作に耐えるために構築された堅牢な機械設計が含まれます。機械設計に優れ、振動や騒音を低減し、クリーンルーム操作に適しています。最後に、機械は容易な点検および維持のための容易なアクセスのドアおよびオートメーションのデッキが装備されています。全体として、APS 2XTはウェーハ処理アプリケーション向けに信頼性の高い汎用性の高いウェーハハンドラを提供します。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2XTは、精密オートメーション、高スループット、使いやすい制御システムを組み合わせることで、あらゆる処理環境に貴重な付加価値をもたらします。