中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #9404448 を販売中

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000は、マイクロエレクトロニクスアプリケーション向けの完全自動ウェハハンドラです。ポストファブリケーションとプリプロダクションアプリケーションの両方で信頼性の高い一貫したウェーハハンドリングを提供するように設計されています。IRVINE OPTICAL APS 2000は、独自の高度なロボットアーム技術と広い視野を使用してウェーハ表面全体をカバーします。任意のピッチで任意のタイプのウェーハを受け付けることができ、1つの負荷で最大8つのウェーハを扱うことができます。BROOKS AUTOMATION APS-2000は、真空密封されたコンタクトフレームを備えており、自動化された機器の内外にウェーハを移動させることさえできます。これにより、ローディング前に個々のウェーハを識別および検査するために必要な顕微鏡が不要になり、各ウェーハが確実に転送され、正しい方向に提示されるようになります。メカニカルグリッパーシステムは、各ウェーハをしっかりと掴み、積み下ろし時に転倒したり、位置がずれたりするのを防ぎます。IRVINE OPTICAL APS-2000には使いやすいコントロールパネルが装備されています。オペレータは、個々のウェーハの積み下ろし、位置決め、向きなど、さまざまなウェーハハンドリング操作をコントロールパネルに直接プログラムできます。また、このユニットはコンピュータベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）でプログラムされています。このユーザーインターフェイスを通じて、オペレータは簡単に転送およびプロセスパラメータ、プログラム操作シーケンスを指定し、リアルタイムで結果を監視することができます。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000にはフォルトリカバリマシンも装備されています。このツールは、部品の損傷を軽減し、廃棄を防ぐために、ウェーハ処理中のエラーを見つけて解決するように設計されています。誤ったウェーハ、不完全なウェーハ転送、またはその他のタイプのエラーを検出し、それに応じて反応することができます。正確なメンテナンスとトラブルシューティングを容易にするために、すべてのエラー情報がログインされます。安全性を高めるために、APS-2000には標準の安全インターロックが付属しており、誰でも作業エリアにいるときに自動化された資産が使用されないようにします。これにより、オペレータとコンポーネントの両方に潜在的な危険がなくなります。全体として、APS 2000ウェハハンドラは、信頼性が高く、効率的で安全な自動装置です。高度なロボットアーム技術、直感的なユーザーインターフェース、強力なフォルトリカバリモデルにより、ウェハハンドリングをこれまで以上に高速かつ簡単にします。