中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #293748039 を販売中

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000は、半導体製造設備における半導体ウェーハのローディングおよびアンロード処理を自動化するために設計されたウェーハハンドラです。このハンドラは、複数のウェハを高精度かつ高速に輸送、取得、位置決めすることができます。4段階のウェーハシュートと、最大6インチに達することができる1つまたは2つのロボットアームを備えたハブエリアが組み合わされています。ロボットアームは、最大直径472mmのウェーハを輸送し、1時間あたり最大30個のウェーハを処理することができます。ロボットアームは精密サーボモータで駆動され、ロボットアセンブリはウェーハの正確な配置と正確な翻訳を保証するように設計されています。IRVINE OPTICAL APS 2000の主な2つのコンポーネントは、ウエハシュートとロボットアセンブリです。前者は、処理の1段階から別の段階に移動するため、ウェーハを安全に輸送および保管するように設計されています。4段階で構成されており、BTドープやFTフューズドウェハなど、さまざまな種類のウエハを取り扱うように設計されています。ステージは相互接続されており、プロセス全体をスムーズに移動できます。BROOKS AUTOMATION APS-2000のロボットアセンブリは、2つのロボットアームとハブエリアで構成されています。これらのアームは最大6インチに達することができ、0。2ミクロンまで正確にウェーハを配置することができます。ハブエリアにはウェーハをスムーズに搬送するロードポートを装備し、高度なビジョンシステムを活用して正確なアライメントを確保しています。IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000は直感的なユーザーインターフェイスで設計されており、オペレータは簡単に完全なプロセスを管理できます。このインターフェイスは、生産プロセスを合理化するために、さまざまなソフトウェアプログラムや自動システムと統合することができます。さらに、ユニットは簡単なメンテナンスとクリーニング、取り外し可能なカバー、内部コンポーネントにアクセスするために開くことができるカバー、およびツールのアクセシビリティのために設計されています。APS-2000は、ウェーハ処理プロセスの精度、柔軟性、効率を向上させることを目的としています。優れたハンドリング機能、拡張ロボットリーチ、正確なアライメント機能、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたこのウェハハンドラは、大規模な半導体製造事業に適したソリューションです。