中古 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #185015 を販売中

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000は、さまざまな半導体製造プロセスに自動モーションコントロール、ウェーハ転送、データ取得を提供するように設計されたウェハハンドラーロボット機器です。システムは、ベース構造とウェーハアームの2つの主要コンポーネントで構成されています。ベース構造はアルミニウムフレームと電力ラックで構成され、ユニット全体にプラットフォームを提供します。これは、マシン全体に最大限の安定性を提供するように設計されています。この基地には、完全な配電ツールと冗長な空気圧アセットが装備されており、ロボットの動作に信頼性の高い安全な環境を提供します。さらに、ベース構造は、ほとんどの標準イオンインプラントと互換性があるように設計されています。ウェーハアームは、高度に自動化された正確なウェーハ位置決め用に設計されています。それは最高800mmまでの範囲のコンピュータ制御された、精密制御された、6軸ロボットアームです。アームは、あるチャンバから別のチャンバにウェーハを移動しながら、再現性、精度、および速度要件を実行することができます。IRVINE OPTICAL APS 2000には、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が搭載されています。これには、製品品質の向上と高速化を可能にする汎用性の高いモーションコントロール機能が含まれています。さらに、このモデルは広範なデータ取得およびレポート機能を提供し、製品の品質保証を向上させます。この装置には、圧力センサ、リミットスイッチ、ソフトウェアベースの安全機能など、いくつかの安全機能が装備されています。これにより、ロボットが故障した場合に人員や部品に損害を与えないことが保証されます。ロボットはまた、UL認証を含む厳格な安全テストに合格するように設計されています。全体的に、BROOKS AUTOMATION APS-2000は、さまざまな半導体製造工程のプロセス制御、再現性、および安全性の向上を提供するように設計されています。堅牢なベース構造、直感的なGUI、汎用性の高いモーションコントロール機能、拡張範囲のある高度なウェハアームを備えています。その安全機能は、人員や部品の故障を防ぎ、UL認証を取得することで、作業が必要な安全基準に準拠していることを保証します。