中古 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300 #9007852 を販売中

INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300は、真空および超高真空環境における敏感な物質処理のための高性能機器です。開発、プロトタイピング、およびウェーハ薄型化のアプリケーション向けに、ウエハハンドリング機能を内蔵した完全にカスタマイズ可能な構成向けに設計されています。このシステムは、低真空から近真空までの条件下で、小型基板ウェーハを安全かつ確実に操作することができます。また、環境を汚染することなく、ウェーハの正確な取り扱いを必要とする研究用途にも最適です。SPA-300は、デュアル軸、完全ステッピングモーター駆動モーションユニットを使用して動作し、ユーザーはX軸とY軸の両方の移動を完全に制御できます。モーションマシンは、0。04mmの最小反復精度で、ウェーハ基板の滑らかで正確な位置決めを提供します。このユニットは、ソフトスタート/ストップコントロールと高いダイナミックジャーク制御を備えており、ウェーハの損傷の可能性をさらに低減します。さらに、動いている間に偶発的な影響から基板を保護するために、反衝突メカニズムがツールに組み込まれています。INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300は、外部センサーを使用してモデル内の真空レベルを監視する高度な真空フィードバック資産です。装置は10-5 Torrまで真空の存在を検出し、監視し、それに応じてウェーハの処理速度と動きを制御することができます。このシステムは、真空レベルが設定範囲にとどまることを保証し、ウェーハデバイスが最大限の精度で処理されるようにします。SPA-300はまた真空プロセス統合のための容量と設計されます。これには、真空センサのキャリブレーションユニットが自動化されており、ユーザーは個々のプロセス工程ごとに最適な真空レベルを設定できます。さらに、その真空要件をさらにサポートする追加の誘電ポンプを装備することができます。最後に、INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING SPA-300には、ウェーハを保護する複数の安全機能が装備されています。これらの安全機能には、内蔵の緊急エアブレイク、完全に密閉された安全インターロックスイッチ、および冗長な緊急停止ボタンが含まれます。これらのすべての機能は、事故が発生した場合でも、すべてのウェーハが安全で安全であることを保証します。全体として、SPA-300は複雑な真空プロセスで使用するための非常に高度で信頼性の高いウェーハハンドリングツールです。これまでにない安全性とウェーハハンドリングの制御、および再現性と正確な結果を提供します。独自のデザインと直感的な機能により、ユーザーが最先端のアプリケーションで望む結果を達成するのに役立ちます。