中古 INDRAMAT MTSR4 #9111127 を販売中

INDRAMAT MTSR4
製造業者
INDRAMAT
モデル
MTSR4
ID: 9111127
Robot P/N: S0000660001.
INDRAMAT MTSR4 Wafer Handlerは、汎用ウェーハおよび基板用のバルクハンドリングおよびストレージ機器です。このシステムは、真空吸引ディスクを使用して、広大なウェーハと基板をスタックから引っ張り、それらを正確な自動処理機構で固定します。このユニットは、一時的なストレージと長期的なストレージの両方のニーズのために設計されています。MTSR4は、すべての操作を調整する集中制御機です。それはRS-485通信を備えており、完全なツール診断を提供します。また、ウェーハの自動識別、エッジアライメント認識、自動トランザクション、温度制御など、さまざまな柔軟なユーザー設定と安全機能を提供します。ウェハハンドラ自体は、柔軟で正確なハンドリング機能を提供するように設計されています。低力真空技術を活用し、繊細な基板やウエハを丁寧かつ正確に処理します。ソリューションモータは、取り扱いと輸送に正確なフィードバックを提供します。また、処理中のウェーハ位置を監視し、損傷を防ぐために低力力センシングを利用しています。さらに、ソフトウェアは最適化された継続的な操作のために設計されています。INDRAMAT MTSR4は、120mmから300mmまでの幅広いウエハサイズと形状に対応しています。また、幅広いローディング、アンロード、ストレージソリューションも提供しています。テープフィードアセットは、時間のかかる操作を最小限に抑え、傷の発生や位置の誤りを軽減するように設計されています。さらに、ステンレス鋼およびアルミニウム構造の部品は長期耐久性および信頼性を保障します。MTSR4は産業グレードのウェーハ処理プロセスに不可欠なコンポーネントです。その精度と信頼性により、ウェーハや基板の取り扱いに最適なソリューションです。使いやすいタッチスクリーン制御と自動化されたウェーハ識別により、機密性の高い材料の取り扱いと保管を効率化します。INDRAMAT MTSR4はあらゆるウェーハの貯蔵および処理の条件のための完全な選択です。
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