中古 ILHOTECH M23IDF #9390882 を販売中

ILHOTECH M23IDF Wafer Handlerは、脆弱で正確なウェーハを迅速かつ安全に処理するための高度で革新的なロボットです。このロボットは、半導体、ディスプレイ、LED製造業界のウェーハ輸送用に特別に設計されています。産業用ロボットアーム、ウェーハグリップ装置、ディスペンスボウルカルーセル、ポジショナーからなる多軸ロボットシステムです。ロボットアームは、高速かつ高い精度でウェーハを動かすことができます。小型のため、様々な工程や機械に簡単に組み込むことができます。ウェーハグリッピングデバイスは、3ジョーチャック機構によりウェーハを確実に固定するように設計されています。チャックは耐久性のある非静電材料で作られているため、さまざまな種類のウェーハを損傷することなくしっかりと安全にグリップできます。チャックには調整可能な開口力があり、最適なグリップ強度を確保するために調整することができます。ディスペンスボウルのカルーセルは、一度に最大9つのウェーハを保持することができます。このカルーセルには、ローテンションスプリングガイドホイールが装備されており、ウェーハディスペンス中にロボットの動きを正確に追跡することができます。さらに、カルーセルはエッチング剤やシンナーなどの液体を分配するための貯水池としても機能します。ポジショナーは、トランスファーアームとも呼ばれ、ロボットの主なコンポーネントです。これらのアームは、プロセスと位置の間でウェーハを移動するように設計されています。それらは多数の調節可能な設定が装備されており、ウェーハを任意の方向または速度で、そして極端な精度で動かすことができます。また、ポジショナはウェーハ座標を検出するセンサーを備えており、ウェーハの誤った誤差を防ぎます。M23IDF Wafer Handlerは、半導体プロセスでウェーハを処理するための信頼性の高い安全なツールです。高度な技術機能により、ウェーハは損傷や汚染を受けることなく、安全かつ正確に処理されます。ロボットは高度にカスタマイズ可能であり、それを任意のセットアップに簡単に統合することができ、直感的なソフトウェアとユーザーフレンドリーなインターフェースにより、プログラム、操作、メンテナンスが簡単になります。