中古 ILHOTECH ITAL-500 #9392926 を販売中

ILHOTECH ITAL-500は、化合物半導体ウェーハをさまざまな半導体デバイス製造工程で加工するために設計された高精度ウェーハ処理装置です。このシステムは、複数のワークステーション間で最大直径150mmのウェーハを持ち上げて転送できる真空ロボットアームを備えています。このアームはウェーハを正確に配置することができ、半導体加工に必要な完全に乾燥した環境を提供します。ロボットアーム、ツーリング治具、ロボットの動きを制御するマイクロドライブマシンなどが主要な部品です。ロボットアームは、標準的な100mmまたは150mm半導体転写ステーションに適合するように設計されており、酸化物、ポリシリコン、ガリウムヒ素、ゲルマニウムシリコン基板など、ほぼすべての種類のウェーハ材料に対応できます。さらに、ロボットアームは、任意の自動ローディング/アンローディングステーションやツールと互換性があるように設計されています。ITAL-500の基盤は産業等級、高い重量および振動の下で安定性を提供するために組み立てられる堅牢なフレームです。ベースには強化された可動プラットフォームがあり、アセットはより広範囲の動きを提供し、高精度な動きをサポートします。また、高精度で信頼性の高いDelta Driveマイクロドライブユニットを採用し、ツールの高速、高精度、再現性の高い位置決めが可能です。このウェーハハンドラの金型治具は、プロセスツール用の安全なプラットフォームと、ウェーハの移動とグリップのための真空接続を提供するように設計されています。治具はまた、簡単で簡単なツール交換を可能にするクイックチェンジツール機構を備えています。ツーリング治具には、水平方向と垂直方向の両方でウェーハを高精度にアライメントするためのタッチアンドゴーセンサーも装備されています。ILHOTECH ITAL-500のその他の機能は、ウェーハの向きとエッジ位置を検出するための統合ビジョン装置、完全に自動化されたレシピベースのプロセス、および包括的なWebベースの監視および制御システムです。ユニットは、操作と維持が簡単であるように設計されており、製造プロセスのさまざまな段階間の完全なプロセス間通信を提供します。さらに、ITAL-500は半導体製造プロセスの安全基準に準拠しています。全体として、ILHOTECH ITAL-500は半導体業界の要求に応えるために設計された効果的で信頼性の高いウェーハ加工機です。半導体ウェーハの高歩留まり処理のためのプロセス工具の精密かつ再現可能な動作を提供します。包括的な設計により、高精度で高速なウエハハンドリングが可能で、幅広い生産ニーズに適しています。