中古 IDE ROB-300 #9298457 を販売中

IDE ROB-300ウェーハハンドリング装置は、直径300mmまでのウェーハの取り扱いと操作を自動化するために使用される、高度に自動化されたセミカスタマイズ可能なロボットシステムです。ROB-300は、クリーンルーム環境でのウェーハの正確な処理を提供します。デュアルアームマニピュレータと2つの独立したZモータがユニットの精密制御を提供します。これらのモータは、ロボットアームの高さと位置、およびウェーハの積み下ろしプロセスを制御する責任があります。ロボットアーム自体は、個々のウェーハのグリップや取り扱い、バッチ処理が可能です。ロボットアームに加えて、ウェーハを1つの位置から次の位置に移動させるコンベアベースのリニアトランスファーツールを備えています。このアセットは、滑らかで反復可能な動きのために設計されており、カスタムリニアまたはアークを使用して、必要に応じてウェーハを正確に配置します。IDE ROB-300は、ウェーハのロードとアンロードのさまざまなオプションに対応できます。（プログラム可能なソフトウェアを介して）手動または自動化された読み込み/アンロードのオプションが利用可能で、モデルを顧客の特定のニーズに適応させることができます。手動ローディング/アンロードは、処理される各ウェハに低力クランプを適用する精密マニュアルチャックを介して実行されます。ウェーハをロボットアームへ、またはロボットアームから堆積させる空圧フィクスチャローダー/アンローダーを使用して、自動ローディング/アンロードを実行します。この装置は、アライメント、配置、オリエンテーションなどのウェーハ処理プロセスを柔軟かつ完全に制御できるように設計されています。空気圧部品を使用することで、ハンドリングプロセス全体にわたって信頼性と再現性の高い精度を保証します。ウェハに関連するすべての操作は、デジタル制御パネルを使用して監視および制御されます。ROB-300システムは容易なアクセスおよび維持のために設計されています。このユニットはまた、部品の混乱による潜在的な事故から保護するための安全機械を備えています。セミカスタマイズ可能な設計と信頼性により、クリーンルーム環境でウェーハハンドリングプロセスを自動化したい企業に最適です。IDE ROB-300ツールは、柔軟性と精密な制御により、直径300mmまでのあらゆる種類のウェーハの取り扱いと操作に最適です。