中古 ICOS HM-200 #9144064 を販売中
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ICOS HM-200 Wafer Handlerは、半導体ウェーハの大量生産用に設計された最先端のロボット機器です。このシステムは、特許取得済みの連続運動機構を使用しており、さまざまなサイズと厚さからのウェーハの高精度な取り扱い、位置決め、および負荷を可能にします。1時間あたり最大200個のウェーハに対応可能で、シングルダイとマルチダイの両方に対応しています。ユニークなコンベアハイブリッドメカニズムにより、安定性と再現性に優れ、ウェーハの正確な配置と積載が可能です。コンベアハイブリッドマシンは、リニアコンベア、Y軸リニアステッピングモータ、およびin-situストレージおよび検索メカニズムで構成されています。リニアコンベアは2方向で動作し、基板上の任意の場所にウェハを正確に配置できます。Y軸リニアステッピングモータは、ウェーハの位置を調整するのに役立ち、その場でのストレージと検索機構により、ウェーハスタックのバッチ読み込みとアンロードが可能になります。統合ビジョンツールは、正確なロードと配置を保証するのに役立ちます。ビジョンアセットは、ウェーハの位置とパターンを検出することができ、ウェーハが適切にロードされ、処理されることをオペレータに保証します。また、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、簡単な操作とウェーハの位置決めと読み込みを完全に制御できます。HM-200は、クリーンルーム環境に耐えることができる耐久性のあるロボット機器であり、長年の連続運転に耐えるように設計されています。その革新的で信頼性の高い連続的なモーションメカニズムは、生産の稼働時間と歩留まりを向上させるのに役立ちます。システムの再現性とエラー検出機能により、ウェーハの紛失を最小限に抑え、ワンタッチコントロールを合理化してセットアップと操作を簡素化します。ICOS HM-200 Wafer Handlerは、多種多様なウェーハの取り扱いに理想的なユニットであり、信頼性と使いやすいです。
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