中古 IAI RCS-T-ENG #9316775 を販売中
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IAI RCS-T-ENGは、半導体製造施設やその他の先端産業で使用するために設計されたロボットウェハハンドラです。このユニットは、さまざまなアセンブリシーケンスを介してウェーハなどのフラット基板を正確に輸送することができます。高精度な内蔵DCモータを駆動し、デルタロボット技術を駆使して高精度を実現しています。RCS-T-ENGの本体は軽量アルミ製で扱いやすく、耐久性に優れています。このユニットには、堅牢なグリッピングシステム、帯電防止トッププレート、モーターガードなど、信頼性の高いウェーハ輸送を保証するために設計されたさまざまな機能が装備されています。さらに、シングルアームモデルは、ユーザーの好みに応じて左右どちらにも取り付けることができます。IAI RCS-T-ENGは、直径150〜450mmの未加工基板に対応可能です。また、基板の経路またはピックアップ/ドロップオフ領域に潜在的な障害物を検出するように設計された内蔵のセンサーも用意されており、全体的な耐久性と精度を確保するのに役立ちます。このユニットには調整可能な速度設定があり、ユーザーはロボットの所望の速度をプログラムすることができます。その最小速度は0。05mm/secに設定でき、最高速度は基板のサイズと組立工程の複雑さに応じて0。35mm/secに設定できます。堅牢な構造と高精度な動きにより、RCS-T-ENGは、ダイボンディング、露出、搬送、はんだリフローなど、さまざまなウェハ輸送アプリケーションに最適です。また、銅、酸化アルミニウム、クロムなどの特定の基板被覆基板にも対応可能です。全体として、IAI RCS-T-ENGは、高性能かつ信頼性の高いウェハハンドラであり、ハイエンド半導体メーカーのニーズを満たすように設計されています。堅牢な構造と信頼性の高いセンシング装置は、一貫して正確なウェーハ処理結果を提供できることを保証するのに役立ちます。
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