中古 HIRATA HNC-US566-6 #9111398 を販売中

HIRATA HNC-US566-6は、薄型ウェーハの信頼性の高い積み下ろし用に設計されたロボットウェーハハンドラです。高速で高精度なガントリーロボットを使用して、プロセスツール、ロードロック、キャリア間でウェーハを正確に転送します。このロボットは、クラス1のクリーンルーム環境で動作するように設計されており、直径6インチまでのウェーハを処理できます。ウェーハの進捗状況を追跡するカメラを備えており、正確な位置に基づいてウェーハを正確に配置するのに役立ちます。ロボットは、正確な配置と高速移動のためにx、 y、 z平面で移動することを可能にする3つの自由度を持っています。グリッパーは厚さ0。8mmまでのウェーハに対応可能で、幅広い用途に適しています。さらに、すべてのコンポーネントを監視し、動作中のエラーを検出して報告できるセルフチェック機能を備えています。クラス1のクリーンルーム環境で負荷とアンロード処理を行い、処理中の粒子汚染を最小限に抑えます。また、ウェーハをある工具から別の工具に移動する際に、ロボット内部に汚染が入らないようにするロードロックシステムも備えています。操作、清潔、セキュリティを保護するために、ロボットのすべての動作を監視する安全インターロックシステム（SIS）があります。HNC-US566-6はさまざまな適用のために適している信頼でき、有効なウェーハハンドラです。その高速、精度、精度により、クリーンルーム環境でのウェーハの積み降ろしに最適なソリューションです。その安全機能は、製品や他のコンポーネントを妥協することなく動作することを保証し、信頼性と費用対効果の高いオートメーションソリューションです。