中古 HIRATA AR-Z1000E #293616766 を販売中

HIRATA AR-Z1000Eは、200mmと300mmの両方のウェーハを扱うように設計された信頼性の高い先進的な自動ウェーハ処理装置です。これは、ウェハを一連のインデックス化ステップで移動させる独自の3軸ロボットアームを使用しており、ウェハの正確なロードとアンロードを可能にします。ロボットアームは、ウェーハを回転させてどちらにも向けることができます。このシステムには信頼性の高いウェーハ真空ピックアップユニットが装備されており、2\mの周長公差内で正確な負荷再現性を提供します。また、スライドプラテン/チルトステージを採用し、微粒子発生を最小限に抑えながら高速自動転送が可能です。また、デュアルウェーハピックアップとウェーハストレージプレートスタッカーを備えています。AR-Z1000Eは安全を念頭に置いて設計され、機械変位の場合には険しいフレームおよび補強を特色にします。HIRATA AR-Z1000Eは、ロボットとその操作を監視および制御するための強力なPCベースの統合コントローラで設計されています。ロボットは、ウェハの向きを変更したり、簡単にアクセスするためにそれらを向けるなどの複雑な動きを実行するようにプログラムすることができます。このツールには、ロボットの自動移動の簡単なWebベースのプログラミングとメンテナンスのための直感的なGコードプログラミング言語も含まれています。さらに、この資産にはロボット安全通信プロトコルが内蔵されており、外部干渉に対する安全性と保護が向上しています。AR-Z1000Eは特定の条件に合うためにカスタマイズすることができます。様々なセンサーやオートビジョンシステムと互換性があり、精度の向上と制御の強化が可能です。このモデルは、操作者がロボットの操作を監視および制御できる、使いやすいタッチスクリーンコントロールパネルを備えています。コントロールパネルには、ロボットのパフォーマンスを監視する簡単な方法を提供するアラーム機器も備えています。最後に、オンボード診断システムは、ロボットの操作を監視し、長期的な信頼性を確保するための簡単な方法を提供します。HIRATA AR-Z1000Eは、半導体製造や自動車製造などの業界向けに最適なソリューションです。それは重い負荷を扱うように設計され、既存の生産ラインに容易に統合することができます。直感的なプログラミングと正確な自動動作により、あらゆる自動ウェハハンドリング要件に最適です。