中古 GTA GU 2001 #9242489 を販売中
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ID: 9242489
ヴィンテージ: 2006
Off loader
PLC Controller
X, Z Axis servo & step motor
Touch UI damaged
2006 vintage.
GTA GU 2001は、Gasonics Automationによって設計されたウェハハンドラです。幅広い半導体装置に効率的で信頼性の高いウェハ生産を提供するために設計された中型デバイスです。このデバイスは、ロボットアーム、ウェハチャック、およびウェハ処理コンポーネントの3つの主要コンポーネントで構成されています。ロボットアームは、ローディング、ソート、および輸送プロセス間でウェーハを転送する責任があるため、マシンの主な機能です。処理前にウェーハの正確な配置とアライメントを確保するために使用されます。ウェーハチャックは2番目のコンポーネントであり、ウェーハに安全で一貫したグリップを提供する責任があります。これは、ウェーハ処理プロセス中に正確に適切な場所でウェーハを安全に保持するのに役立つ真空を備えています。3番目のコンポーネントは、プロセスチャンバ、ウェーハキャリア、およびその他のコンポーネントを含むウェーハ処理コンポーネントです。プロセスチャンバーは、最高品質のウェーハyieldを生成するように設計された高度なシステムで囲まれたスペースです。これらは、ウェーハが使用される特定のプロセスに必要な正確な温度と化学物質に確実に配置されるように設計されています。ウェーハキャリアは、処理後にウェーハを炉から離す責任があります。さらに、パーティクルフィルターは、処理前にウェーハ上にある粒子をフィルタリングするように設計されています。アライメントシステムは、すべてのウェーハがプロセスチャンバに適切に配置されていることを保証し、最も正確な結果を得ることができます。全体として、GU 2001はあらゆるタイプの半導体装置のための完全に処理されたウエハの高い収率を保障するように設計されている高度のウエハハンドラです。堅牢な設計により、プロセス全体の精度と信頼性が保証され、あらゆる半導体製造設備にとって大きな価値があります。
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