中古 GL AUTOMATION IDScope #9124331 を販売中

GL AUTOMATION IDScopeは、手作業を最小限に抑え、最高レベルの効率を保証するように設計された完全自動ウェハハンドラです。スパッタリング、エッチング、薄型化などのウェハレベルの製造プロセスに最適です。IDScopeの主なメカニズムは、特殊な磁気グリッパーとアライメント装置を備えたロボットアームで、正確にウェーハをつかみ、ハンドルし、位置決めを行うことができます。アームは、ウェーハサイズ、向き、位置を操作して、さまざまなプロセスに合わせます。また、ライトガイドとカメラを組み合わせてウェーハの欠陥を特定・評価するビジョンシステムを搭載しています。このツールには、ウェハカセットユニット（標準および/または拡張）も含まれており、カセットの自動実装またはマウント解除が可能です。これは、ウェーハがカセットから直接マシンにロードまたはアンロードされることを意味します。GL AUTOMATION IDScopeは、一度に最大12個の8インチウェーハまたは6個の12インチウェーハを処理でき、構成に応じてシーケンシャル、ランダム、またはセミランダムカセットアクセスを提供できます。さらに、ウェーハは、ストレージおよび製造エリアからロード/アンロードすることができます。最適な結果を得るために、IDScopeは自動ウェーハアライメントシステムで構築されています。これらのシステムにより、ウェーハがツール内に正確に配置され、ミスアライメント関連のエラーが低減されます。ウェハの形状、サイズ、輪郭の違いを感知し、ロボットアームとの違いを測定することで作業を行います。GL AUTOMATION IDScopeは、ウェーハアライメントとリファレンスポイントを継続的に更新することにより、製造プロセスにおける各ステップごとにウェーハを正確に整列させることができ、オペレータの時間とエラーを最小限に抑えることができます。この資産には、オペレータと機器の両方を保護するための安全機能もあります。例えば、予期しない電源遮断が発生した場合は、内蔵の緊急連動ドアでモデルを初期化できます。さらに、取り返しのつかないウェーハのミッシャンドリングを防ぐために、装置には「all-or-nothing」把握および位置決めシステムがあります。これにより、すべてのウエハ特性が適切に整列されるまで、ウエハはユニット内に配置されません。IDScopeは、精度と安全性の両方を保証する優れたウェハハンドリングツールです。自動化された設計により、手動でウェーハを処理する時間が短縮され、エラーのリスクが低減されます。GL AUTOMATION IDScopeは、ロボットアーム、アライメントマシン、ウェハカセット、安全機能を活用することで、製造効率を大幅に向上させます。