中古 GENMARK X5062 #9153695 を販売中

GENMARK X5062は、半導体製造のために設計された超高速ウエハハンドラです。さまざまなサイズのウェーハを正確かつ効率的に転送、検査、推進することができます。高精度で信頼性の高いハンドリングシステムにより、超高精度の半導体事業に適し100µmいます。X5062は、2つの高精度リニアアクチュエータを搭載したユニバーサルマウントベースユニットで構成されています。各アクチュエータには可動プラットフォームがあり、その動作範囲は精密な電子サーボモータによって制御されます。V字型の帯電防止ウエハハンドラは、剛性ウエハーと弾性ウエハーの両方で動作します。このユニットは、垂直ベルトから吊り下げたり、リニアルートに沿って発振して精度を高めることもできます。GENMARK X5062は、全体的な効率を向上させるためのさまざまな機能を提供します。それは雑種の動き制御システムを利用します；ダイレクトドリブンとステッピングモーターの組み合わせで構成されています。これにより、ウェハハンドリング動作中に最高速度と精度が保証されます。さらに、このハンドラには、超音速精度測位のためのXYZオートスケールイン機能が装備されています。これにより、X5062は正確に検出し、数秒以内に任意の傾きや偏差を調整することができます。GENMARK X5062は、正確な転送を確保するために、さまざまなウェハセンシングデバイスとリンクすることができます。ウエハーマーカーをスキャンしながら転送し、エラーを検出したときに動作を停止する自動ウェハトラッカーを備えています。同様に、負荷検出クラッチにより、搬送動作前にウェーハの存在を自動的に検出することができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、ユーザーはX5062の機能を簡単にプログラムおよび制御できます。GUIは、接続されたPCから直接直感的なコマンドやその他のパラメータ設定オプションをオペレータに提供します。GENMARK X5062は、半導体製造のための高速で信頼性の高い正確なウェーハ処理ソリューションを提供します。高度なモーションコントロールとウェーハセンシング技術を備えたX5062は、超小型の微細ウェーハの正確な転送と取り扱いを保証します。超高精度半導体オペレーションに最適なソリューションです。