中古 GENMARK GPR Series #9409854 を販売中

GENMARK GPRシリーズのウェーハハンドラは、大規模でフラットなウェーハ処理アプリケーションを処理および転送する洗練された方法を提供し、進歩させるように設計されています。これは、高度なノードサイズのデバイスでウェーハを処理するための自動化された高性能ソリューションを提供することを目的としています。このハンドラは、8インチ（200mm）および12インチ（300mm）のウェーハのさまざまなサイズと規格が可能であり、1サイクルあたり25mm（厚さ）の複数のウェーハを処理することができます。さらに、高速、優れた性能と優れたステッピングコントロールにより、ウェーハのハンドリングと転送のための正確な制御と位置決めが保証されます。このハンドラは、GENMARKの高性能プロファイルコントローラおよび超高速X/Yモーションコントロール機能と統合されています。これらにより、多軸移動および転送用のウェーハを効果的かつ効率的に配置することができます。また、プロセスプランから正確な測定値を収集およびレポートすることにより、完全な信号整合性とトレーサビリティを保証します。超クリーンルームでの使用にも対応しています。その腕は良質の帯電防止および反消費材料から成っている粒子を除去するために設計され、上塗を施してあります。ハイエンドの精密ウェーハハンドリング部門で必要とされる要件を満たすことにより、厳しい許容性と優れた汚染制御の要件を満たします。GPRシリーズウェーハハンドラは、超複雑構造を処理および処理するように設計されています。薄型ウエハ、両面プロセス、マルチフレームを1つの工程サイクルで処理できます。また、デバイス間で安全なデータ交換を可能にする高度な複雑な通信インターフェースを備えています。また、ウェハハンドラは、ウェハサイズの自動検出、トレーサビリティのためのウェハトラッキング、パーティクルを排除して転送精度を向上させることができます。ハンドラーには、ポジショニングのための直感的な基準ベースの教育もあり、オペレータは簡単にプログラムを作成、管理、転送することができます。GENMARK GPRシリーズのウェーハハンドラは、大規模でフラットなウェーハ処理アプリケーションを処理および転送するための高度なソリューションです。洗練された機能、高性能プロファイルコントローラ、および高耐久性と優れたコンタミネーションコントロールにより、ウエハハンドリングと超複雑構造の処理に優れています。