中古 GENMARK Gencobot 8/3L #293746385 を販売中

ID: 293746385
Robot.
GENMARK Gencobot 8/3L (GENMARK Gencobot G8/3L)は、複数のウェーハを取り扱い、幅広いサイズのウェーハサイズをサポートできるハイエンドのロボットウェーハハンドラです。これは、今日入手可能な最も包括的で自動化されたウェーハハンドリングシステムの1つです。このG8/3Lは、直径300mmまでの3つのウエハサイズの最大スループットを誇ります。この装置は、幅広いウエハータイプとサイズで動作するように設計されています。これには、オキシ窒化物、ポリシリコン、ダイヤモンドなどのすべての標準半導体材料が含まれます。さらに、このシステムは、金属や電子材料などの特殊材料にも構成することができます。G8/3Lの中核は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)で構成されており、ウェハハンドリングルーチンを簡単にプログラミングできます。すべてのユニット機能は、高度なコンピュータアーキテクチャによって駆動されます。これには、高性能プロセッサと組み込みコントローラシステムが含まれ、機械のパフォーマンスを積極的に監視し、動作を最適化します。また、G8/3Lには業界をリードする振動のない真空ウェーハハンドリングツールが装備されており、転送時のウェーハ引き裂きの可能性を排除します。この資産は、頑丈でステンレス製の構造でさらに強化され、極端な条件に耐えることができます。このG8/3Lは、ウェーハ間の転送、および隣接するシステムへのウェーハの転送が可能です。この柔軟性により、ウェーハバッチング、ダイソート、アップスクリーニング、フォトリソグラフィなど、幅広い用途に対応できます。また、マルチレーンロボットアームを搭載し、ウェハの同時移動が可能です。すべてのG8/3Lシステムは事前校正され、完全に統合されています。追加の保護のために、Eストップのオーバーライドを備えた統合安全装置は、信頼性とフェイルセーフな動作を提供します。このG8/3Lは、半導体製造および自動試験作業に適しています。ウェーハ加工やダイソートなど、大容量・高速動作に最適です。業界をリードする設計と性能により、信頼性と精度が重要な要件であるアプリケーションに最適です。
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