中古 GENMARK GB9 #61719 を販売中

GENMARK GB9は、半導体プロセス制御と精密オートメーション用に設計されたウェハハンドラです。半導体ウェーハをポートからポートに移動するために使用される自動プラットフォームであり、工業生産環境でプロセス手順が均一に実行されるようにします。GB9は、インクリメンタルに駆動された高精度ガントリー装置を備え、高スループットを目指して設計されています。これにより、連続的なプロセスフロー、より速い生産、より良い歩留まりが可能になります。GENMARK GB9は、デバイスハンドラとカスタムツーリング機能の両方で構成されるスケーラブルなフル機能のウェハハンドリングシステムです。デバイスハンドラは、リニアレールのサーボドライブユニットを備えており、ポート間の単一または複数のウェーハの正確な位置決めを可能にします。GB9は、ピックアーム、浸漬ディッピングコンポーネント、ロボットローダー/アンローダーなど、いくつかの特殊なツールで構成することもできます。デバイスハンドラは、真空リフティングコンポーネントやハンドヘルドプロセスツールなどのカスタムツーリングもサポートしています。GENMARK GB9は、センサーを選択して設計されており、リアルタイムの監視とエラーチェックを行うことができます。光センサーはウェーハの正確な位置を検出して通信するために使用され、接触センサーはウェーハの存在を検出し、機械的なクラッシュを防ぐことができます。温度計や湿度計などの環境モニタリングセンサーを設置し、環境の温度・湿度条件を記録し、最適な製造条件を維持することができます。このツールのモーションコントロールアセットは、ウェーハ処理タスクで迅速かつ正確なサブプロセス移動を可能にする完全なアルゴリズムに基づいています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、高度なモーションコントロールパラメータを設定して、自動化されたプロセスが適切に流れます。モーションコントローラソフトウェアには、高度なフォールトトレランス機構も組み込まれており、このモデルはプロセスの予期しないエラーから回復することができます。GB9ウェハハンドラは、簡単な変更、メンテナンス、および再構成を容易にするモジュール設計を備えています。Open-Bus Interface Technology （OBIT）を通じて、GENMARK GB9は自動フィールドバスと統合され、製造チェーン内の他のマシンと迅速かつ効率的に接続します。製造業者のソフトウェアツールは、GB9の生産設備への統合を簡素化するためにも利用できます。GENMARK GB9は、生産効率、歩留まり、品質を向上させる信頼性の高い先進的なウエハハンドリングシステムです。それは困難な産業環境で最高の性能を提供するように設計され、高度な精密制御および監視システムは完全な労働条件を保障します。GB9は、効率的なプロセス自動化のための安全で信頼性の高いウェーハ処理ソリューションです。