中古 GENMARK GB7 #9153705 を販売中

GENMARK GB7は、半導体ウェーハを製造工程全体で管理および輸送するために設計されたウェーハハンドラです。このデバイスは、最大300mm径のウェーハを使用したウェーハ製造および試験アプリケーションに使用するように設計されています。このユニットは、最大22kgの重量のホットおよびコールドウェーハを処理することができます。GENMARK GB 7は、サイクル時間を短縮し、スループットと生産効率を向上させるための垂直搬送装置を備えた高速4軸デカルト型ロボットアームを備えています。このデバイスは、250 x 400 x 250 mmのトータルストローク、0。2 mmの再現性、および最大30mm/秒の速度で正確なウェーハ移動が可能です。腕はウェーハの端を検出するのにCCDのカメラを利用します；赤外線追跡技術だけでなく、正確に起点とウェーハ転送中にアームを配置します。転送ごとに最大50個のウェーハを正確にピッキングして配置できます。GB7には、ユニークなデュアル「C」メカニカルドライブが含まれています。このドライブは、優れたウェーハ搬送安定性を提供し、動作中の回転速度を低減し、騒音汚染を低減します。それは真空の避難のための500mmの打撃イオン注入器の腕を含んでいます。腕は25mm/secの高速で500mmのフルストロークに達します。GB 7のその他の機能には、統合されたデブリ防止システム、直感的なユーザーインターフェース、ウェハローディング/アンロード用の空気吸引ユニット、およびウェハストッパー機能があります。ユーザーインターフェイスは、最適なパフォーマンスのためのパラメータの設定とプリセットレシピの選択を可能にします。また、必要に応じて拡張レシピ定義を実装することもできます。統合破片管理機は、ほこり、汚れ、その他の異物によるウェーハの汚染を防ぐように設計されています。空気吸引ツールは、タイトなスペース内でウェーハを把握して移動させるために使用され、ウェーハストッパーは転送中にウェーハが過度に移動するのを防ぎます。GENMARK GB7は、半導体ウェーハの生産管理に費用対効果の高い効率的なソリューションを提供する、コンパクトで信頼性の高いウェーハハンドラです。正確な動きにより、サイクルタイムを損なうことなく最適な精度を実現します。直感的なユーザーインターフェイスと豊富な追加機能により、ハイエンドのウェーハ製造またはテストアプリケーションのニーズを満たしています。