中古 GENMARK GB4 #154136 を販売中

製造業者
GENMARK
モデル
GB4
ID: 154136
ウェーハサイズ: 12"
Standard robot, 12" With controller Configured for ASM A412 12" tool Arm configuration: 5.25" to 5.25" Box included.
GENMARK GB4は、高品質な製品の生産を強化する半導体ウェーハ製造プロセスのウェーハハンドラです。高度なロボット技術を駆使し、半導体ウェーハを安全かつ正確に移動・配置します。GB4ハンドラは、一度に最大4つのウェーハを格納し、挿入時にウェーハの存在を自動的に検出することができます。これらのウェーハは、プロセスを開始する準備ができて、ハンドラーのスワファークランプに登録され、正確に配置されます。GENMARK GB4には、独自のリモートコンピュータ、多軸コントローラ、メンテナンスコンソールが装備されており、ユーザーは簡単にマシンを管理および監視することができます。リモートコンピュータには、統合された制御装置、モーションプロセッサ、およびステータスモニターが搭載されているため、オペレータはウェハローディングとアンロードの制御を改善しました。GB4は、ウェーハクランプ用の電動サーボポジショナーを備えており、クランプ機構にウェーハを正確に配置することができます。ハンドラーには、センサーとガードの安全システムが装備されており、機器とオペレーターの安全を確保しています。GENMARK GB4は、ウェハローディングとアンロードの両方を同時に可能にするデュアルロード/アンロード機構を利用しています。この機能は、新しいウェーハが挿入されたときに既にロードされているウェーハを削除する必要はありません。GB4ハンドラーは高性能真空ユニットで設計されており、迅速なプルダウン時間と、迅速かつ正確に、かつ安全にウェーハをロードおよびアンロードする能力を提供します。さらに、ハンドラは、最大直径330mmのウェハ容量を持つ、小型および大型ウェハの両方に対応できます。非接触式スイングアームメカニズムは、ウェーハを損傷せずに処理するために必要な柔軟性を提供します。この機械は、オペレータがウェーハのエッジに接触することなく、正確かつ正確にウェーハを適切な位置に配置することを可能にします。また、GENMARK GB4ハンドラーには、高速駆動を備えたサブマイクロコントローラが搭載されており、高精度を維持しながら、積み下ろし工程で腕を素早く動かすために必要なトルクと加速を提供します。GB4ハンドラのユーザーインターフェイスは使いやすく設計されており、オペレータにマシンのさまざまな機能や設定についての詳細な情報を提供します。さらに、ウェーハの向きなどの高度な機能や、ツールの操作とパフォーマンス統計を監視するための高度な診断ツールに簡単にアクセスできます。GENMARK GB4 handlerは、さまざまな半導体製造プロセスで信頼性と費用対効果の高いウェーハ処理を提供し、高品質な製品の生産を保証するように設計されています。
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