中古 GENMARK GB4 #117073 を販売中
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GENMARK GB4は、さまざまなウエハハンドリング動作を自動化するために設計された高度なウエハハンドラです。このモデルGB4は、さまざまな半導体アプリケーション向けに最大4つの200mmおよび/または150mmウェーハ動作を処理するように設計されています。この堅牢な装置は、長寿命と一貫性のために構築され、多数のウェーハ処理ジョブが精度と精度で完了することを保証します。GENMARK GB4 Wafer Handlerは、さまざまな自動コマンドを使用して幅広いウエハータイプをロード、アンロード、アライメントできる精密ロボットアームです。このロボットアームは高温材料でできており、ウェハステージ全体の安定性と再現性を考慮して設計されています。ウェーハのサイズや形状のバリエーションに合わせて調整可能なティーチングポイントが含まれています。システムの設計は、最小限の機能に焦点を当てており、その最高性能の機能をセットアップして操作することが容易になります。それは独立してまたは他のシステムと並行して作動できます。GB4には、安全で安全に使用できるいくつかのコンポーネントもあります。ロボットとウエハカセットを保護するためのインターロック安全機能を備え、内蔵のセンサーはウエハロードとアンロード経路の異常物体を検出し、装置とオペレータを保護するためのユニットを支援します。高度な静的およびダイナミックバランシング機能を使用して、GENMARK GB4は質量のわずかな違いを補い、最も薄いウェーハでも正確なアライメントを提供します。また、静電放電(ESD)保護機能を備えており、故障のない動作を保証します。GB4は、ダスト管理、温度と湿度制御、クリーンな環境などのユーザーフレンドリーな環境監視システムで設計されています。インテリジェントで統合された設計により、機械のメンテナンスとトラブルシューティングが容易になります。これらの特徴はすべて、GENMARK GB4半導体業界のオートメーションの将来にとって非常に信頼性の高いものです。
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