中古 GENMARK 996-1098 #9153812 を販売中

GENMARK 996-1098
ID: 9153812
Robot.
GENMARK 996-1098ウエハハンドラは、様々なサイズのウエハーのローディング、アンロード、ソートを自動化するために設計された、コンパクトで高性能なウエハハンドリング装置です。スケーラブルな設計を特徴とし、幅広いプロセスレシピをサポートしているため、研究者や生産者にとっても理想的です。996-1098は、最大200mmまでのウェーハ処理が可能なベンチトップウェーハハンドラです。高度なウェーハ位置決めシステムを搭載し、ウェーハの素早く正確な位置決めが可能です。さらに、ウェハハンドラは堅牢な電気機械設計を備えており、最も厳しい生産環境でも長期的な信頼性を保証します。GENMARK 996-1098は、高速で正確なウェーハ搬送用の高速リニアモータを備えています。独自の「ミニ」ウェーハトレイにより、異なるウェーハサイズ間の素早い遷移が可能になり、テープフレームのオプションにより、転送チャンバー内でのウェーハの移動が容易になります。オートオリエンテーション機能も備えており、搬送チャンバの出し入れ時にウェハが常に同じ方向に向いていることを可能にします。996-1098はまた、ガスやダストの収集、真空インターロック、火花の発生を防ぐ接地接続など、多くの安全機能を備えています。また、多数の診断およびプロセス監視機能を備えているため、オペレータは一貫した高品質のパフォーマンスを保証できます。ウエハハンドラはシンプルなユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えているため、オペレータは素早く簡単にマシンをナビゲートし、カスタマイズされたウエハハンドリングレシピを作成できます。これらの機能はすべて、GENMARK 996-1098ウェーハハンドラを研究者や生産用途に最適です。そのコンパクトなサイズと汎用性により、さまざまなサイズのウェーハのソート、ロード、アンロードのための効率的なツールとなります。その堅牢な設計と安全機能により、長年にわたる信頼性の高い高性能動作のための長期的な信頼性が保証されます。
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