中古 GENMARK 990010661 #189536 を販売中

GENMARK 990010661は、半導体アプリケーションの生産性と精度を向上させるために設計された幅広いオートメーションソリューションを提供する先進的なウエハハンドラです。最先端のロボティクスと精密アライメント技術を備えており、直径8インチ、厚さ190ミクロンまでのウェーハの信頼性と正確な取り扱いを保証します。このデバイスは、1分間に最大50個のウェーハを処理でき、最大1ウェーハの負荷容量は4kgです。このハンドラには、ウェーハの並列ロードとアンロードに使用できる完全同期動作用の2つの独立したシャトルが含まれています。このデバイスには、シャトルとロードポートの間を正確にウェーハを移動するための搬送システムが装備されています。このプラットフォームは、正確なウェーハアライメントで高いスループットと生産性を実現するように設計されています。ダイツダイとランダムタンクの両方の処理技術をサポートしています。990010661はまた、ウェーハ処理能力において比類のない精度と精度を提供します。7軸ロボットアームを最適な運動点に配置し、最適な精度を実現します。ウェハハンドラは、特許取得済みの高精度ロボットビジョンシステムを使用して、搬送プレート上にウェハを0。5ミクロン以内に正確に配置します。オンボードビジョンシステムにより、ダイピックアップ前にダイの精度と欠陥検出をチェックすることもできます。また、エンドエフェクタヘッドを内蔵しており、幅広いウエハ処理アプリケーションに適した設計となっています。上面ダイと底面ダイの両方でウエハを扱うことができます。エンドエフェクタヘッドは絶縁計測を活用して、正確なダイのアライメントとピックアップを保証します。エンドエフェクタヘッドの動作範囲は、0°から360°までのすべてのダイアングルのスムーズな回転を確保するために最適化されています。GENMARK 990010661ウェーハハンドラは、生産性と精度の強みです。高度なオートメーション機能により、スループットを向上させ、半導体生産アプリケーションの歩留まりを最大化するように設計されています。このデバイスは、最適化された動作範囲、精密ロボットビジョンシステム、および統合計測を活用して、半導体生産ライン向けの信頼性の高い正確なウェハハンドラです。