中古 GENMARK 4S #293586798 を販売中

GENMARK 4Sは、ハイエンド半導体製造装置のために設計されたウェハハンドラです。この4段階のデュアルアームロボットは、最大8インチのウェーハ径で、1時間あたり最大30ウェーハを処理できます。4Sは、ロボットアーム、ラム、クランプ間でウェーハを自動的に位置合わせすることができます。これは、精度を向上させ、完成品の汚染を低減するのに役立ちます。このロボットはGCodeを使用してプログラムされ、既存のソフトウェアプログラムを使用することができます。GENMARK 4Sは、非常に耐久性の高いボディと高精度を備えています。これは、ほこり、粉砕機、振動からの摩耗に耐えるだけでなく、処理ウエハの摩耗にも耐えるように設計されています。4Sの主なコンポーネントは、2つのロボットアーム、2つのラム、2つのクランプ、およびウェーハを積載するための60Kg重量容量です。ロボットアームには、カスタムメイドの高精度、超軽量のリニアモーションベアリングが装備されており、滑らかでジッターフリーな動きを提供します。ラムおよびクランプは正確で、有効な生産のための正しい間隔および締め金で止める圧力を提供するように設計されています。GENMARK 4Sは、高度なクローズループサーボ制御技術を使用して、正確な位置決め、フィードバック、およびアクティブな負荷感覚を保証します。これは高速エンコーダを使用してロボットの位置と速度をリアルタイムで計算します。さらに、統合された「自動チューニング」機能により、迅速なシステム最適化が可能になります。4Sはまた、ロボットの操作にフィードバックを提供し、全体的な精度を向上させる2つの組み込み軸位置認識システムが装備されています。GENMARK 4Sはメンテナンスと操作が簡単に行えるように設計されています。オンラインモニタリング、診断、緊急停止機能、内部コンポーネントへのアクセスが容易です。また、安全システムを内蔵しており、運転中のロボットへの損傷のリスクを低減します。4Sは、堅牢な設計と高精度のハイエンド半導体製造に最適です。高速で簡単なメンテナンスにより、生産ラインに最適ですが、その特徴とカスタマイズにより、独自の製造ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。