中古 FUJI EC-201 #9289924 を販売中

FUJI EC-201は、小型・大型の用途向けに設計された汎用性の高いウエハハンドラです。直径200mmまでのウェーハに対応可能で、1時間あたり最大200個のウェーハに対応できます。ウェーハローダー/アンローダーユニットとウェーハハンドリングヘッドが互いに独立して動いているため、負荷/アンロードおよびハンドリングサイクル中にウェーハを正確にアライメントできます。ウェーハローダー/アンローダーユニットには、真空輸送用のエアノズルとアライメント用の粘着フィルムが装備されています。さらに、分割プレート装置を備えたカセットローダーを使用して、サイズの異なる大きなウェーハを把握して移動することもできます。ウェーハハンドリングヘッドには、ウェーハを確実に固定するための真空チャックが装備されており、ハンドリングチャンバー内のウェーハの正確な回転と位置決めを提供します。ステッピングモーターを内蔵し、位置制御用のリニアエンコーダとともに、搬送時のウェーハの正確なアライメントと取り扱いを容易にします。Z軸移動機構により、搬送方向の柔軟性が向上します。EC-201ウェーハハンドラーは、ハンドリングチャンバーへの空気の侵入を防ぎ、静電気や異物による損傷からウェーハを保護し、真空チャックを適切な動作を監視する安全システムを備えています。さらに、16セットのプログラム可能なユニットにより、部品を交換することなく、ハンドリングサイクルの簡単な切り替えと自動仕上げが可能です。FUJI EC-201 Wafer Handlerは、信頼性の高い効率的な輸送システムをユーザーに提供することで、半導体、マイクロエレクトロニクス、医療産業におけるウェーハの取り扱いを支援します。ウェハハンドリングヘッドの低騒音とハンドリングスペースの制御環境により、ロボットウェハハンドリングに最適なデバイスです。