中古 FORTREND E-8025S #9229816 を販売中

FORTREND E-8025Sウェーハハンドラは半導体製造用に設計された半自動ウェーハハンドリング装置です。ウェーハの洗浄、選別、搬送に迅速かつ効率的に使用できます。このシステムは、搬送モジュール、ウェーハリフト/検査モジュール、ディスペンサーモジュール、チャックモジュール、モーターモジュール、および制御/ホストインターフェイスで構成されています。E-8025Sは最も一般的な200mmおよび300mmウェーハサイズを扱うことができます。新設計のウェーハエレベーターは、最高速度200mm/sで、迅速かつ正確にウェーハを上下させることができます。真空チャックは、検査プロセス中にウェーハを確実に輸送および保持するのに役立ちます。クリーニングモジュールは、一度に最大4つのウェーハを処理するように設計されており、プロセスを効率的かつ包括的にします。2枚のスクラビングプレート、スピンステーション、ドライヤーユニットを備えています。スクラビングプレートは、効果的なクリーニングに必要な簡単な表面接触時間を提供する利点があり、マグネットフィールド発電機はスクラビングプレートが詰まっていないことを保証します。ディスペンサーモジュールは、品質管理のためにウェーハを均等に分配するように設計されています。内蔵の圧力および速度センサを機械に組み込み、最適なウェーハ分布とハンドリングを監視および維持します。チャックモジュールは、研磨などの操作のための最大精度、再現性と速度のために設計されています。特許取得済みの3クランプ設計は、信頼性と再現性の高いウェーハクランプを提供します。モーターモジュールは安定した操作、性能および長い耐用年数を保障するように設計されています。コントロールとホストインターフェイスには、グラフィカルユーザーインターフェイスを提供するタッチスクリーンモニターが含まれています。メニュー駆動の制御ツールは、簡単な操作と高速プログラミングを可能にします。リモートコントロールとデータロギングのためにホストコンピュータに接続することができます。結論として、FORTREND E-8025Sウェハンドラは半導体製造に使用するために設計された半自動ウェハハンドリング資産です。さまざまな部品や機能を内蔵したウェーハ材料の効率的な洗浄、選別、搬送を提供します。すべてのシステムは、最高精度、再現性、速度を考慮して設計されており、信頼性と時間を節約するウェーハ処理モデルとなっています。