中古 FORTREND E-8025S BB #9357141 を販売中
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FORTREND E-8025S BBは、高速アプリケーションにおける半導体ウェーハの自動搬送用に設計されたウェーハハンドラです。最大12インチのウェハサイズをサポートし、デュアルアームのソリッドフレーム構造を内蔵したプリアライメントウェハハンドラです。このマシンには、統合されたクローズドループスキャンとデータ収集装置が含まれています。このコントローラは、マシンのベースに搭載されており、発信と着信の両方のデータフローを可能にするデュアルチャネル通信システムを利用しています。ポジショニングドライブユニットは、滑らかで正確なウェハモーションのための精密なモーションコントロールをサポートするように設計されています。E-8025S BBは幅広いウェーハトランスポート機能を提供します。プリアライメントマシンを備えており、正確かつ効果的な処理のためにウェーハを正確にアライメントします。このツールは、プロセスの安定性とウェーハ保護を強化するための電気機械式ウェーハサポート設計と組み合わされています。また、最大12インチウェーハのサイズに対応できる大型ウェーハにも対応しています。このマシンはまた、人間工学に基づいた回転ラック配置アセットを介して迅速なウェーハ交換を可能にします。FORTREND E-8025S BBは、重い使用に耐えるように設計されており、高性能ウエハハンドリング機能を提供します。ロボットメカニカルアームは、低振動レベルを確保しつつ、あらゆる温度での高速動作をサポートするように設計されています。プログラマブルなサーボ制御駆動モデルにより、ウェハを正確に移動させるフルモーション制御が可能で、複数のプロセスを並列に実行できます。このマシンは、化学/ドライエッチングおよびリソグラフィープロセスを含む幅広いプロセス互換性のために設計されています。プログラマブルな動作設定により、ウェーハ搬送比、ウェーハ搬送速度、サーボパラメータを調整し、最適なウェーハ性能を実現します。このマシンの内蔵センサーは、ウェーハが輸送中に指定された許容誤差内に留まるようにするのに役立ちます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーのプロセス要件に合わせてマシンの迅速なセットアップと調整が可能です。E-8025S BBは信頼性が高く、安全に使用できます。滑らかで正確なモーションコントロールにより、汚染やウェーハの損傷を防ぐように設計されています。この機械は、ブラシレスモータ設計と統合された熱管理装置により、低騒音、振動、消費電力を提供します。回復時間を通して信頼性の高い操作を維持し、提供することは容易です。
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