中古 FORTREND 159-020022-001 #9390217 を販売中

FORTREND 159-020022-001は、直径8インチ（200mm）までのフラットな薄型ウェハの搬送と位置決めを自動化するために使用されるウェハハンドラです。ウェーハ洗浄、試験、選別などの半導体加工におけるフロントエンド用途向けに設計されています。ウェハハンドラ159-020022-001、ロボット真空ウェハハンドラ（RVWH）、垂直移動システム（VTS）、ウェハトランスファーチャック（WTC）を備えています。RVWHは、ウェーハをピックアップし、転送ステーションから処理ステーションに迅速かつ正確に転送するように設計されています。VTSは、ウェーハの垂直移動を高精度に行うために設計されており、ウェーハの位置決めを微調整することができます。WTCは、搬送時にウェーハをしっかりグリップするために使用され、最大直径8インチ（200mm）のウェーハを安全にグリップできます。ウェーハハンドラには、正確なウェーハ配置用の真空センサーと、ウェーハのエッジを損傷なくグリップするエッジクランプも装備しています。また、ウェーハハンドラには、ウェーハ輸送中の流出や汚染を防ぐための防汚オプションが付属しています。また、振動プラズマプリクリーン機能を備えており、すべてのウェーハのクリーンウォールとクリーンパスを確保します。FORTREND 159-020022-001ウェーハハンドラには、精度、経済性、効率を最大化するために個別に調整可能なモジュラー真空システムが付属しています。1サイクルに最大200個のウェーハをサポートし、高速かつ効率的な処理を実現します。ウエハハンドラは、コンパクトで設置しやすい設計で、メンテナンスを最小限に抑えます。バッチ処理とインラインプロセスの両方で操作できます。159-020022-001ウェハハンドラは、高精度のウェハハンドリングと転送機能を提供します。ウェーハの取り扱いと搬送を自動化するための信頼性と効率性の高いツールであり、洗浄からテスト、選別まで、幅広いプロセスに適しています。