中古 FESTO 3371404-1 #9175096 を販売中

FESTO 3371404-1ウェーハハンドラは、独自の2アーム設計と、あらゆるサイズのウェーハを正確に処理するための洗練されたメカニズムを備えた、自動ウェーハ処理のための信頼性と費用対効果の高いオプションです。カセットとジョブイン/ジョブアウトウェハトランスファーのための完全なソリューションを提供し、低振動でスムーズで安全な動きと最大400mm/sの速度を提供します。3371404-1は耐久性のための軽量、耐食性材料から組み立てられ、コンパクトなワークステーションおよび産業生産ラインに統合するために適したサイズです。さまざまな種類のウェーハにロボットを適応させるために、さまざまなグリッパーフレームやアクセサリーが利用可能です。このウェハハンドラは、最大露光時間、接触力、およびアーム速度を調整可能なパラメータとして使用して、カセット間、またはさまざまな種類のウェハハンドリング機器間の転送中にウェハの損傷や中断を最小限に抑えるように設計されています。ウェーハアームは、究極の剛性と精度を実現するフレキシブルジョイントを内蔵した堅牢な構造と、0。2°の角度分解能により、ウェーハを正確かつ効率的に移動させることができます。ウエハハンドラは、2つの三相ステッピングモータによって駆動され、あらゆるアプリケーションで正確なウエハハンドリングを保証するための十分なトルクを提供します。それはまた容易な取付けのためのモジュラー土台システムが装備され、ユーザーが彼らの特定の条件を満たすために動きをカスタマイズすることを可能にする3つまでの軸および機能を提供します。コントローラボードは使いやすく直感的で、ユーザーは回転、持ち上がること、および線形動きを含む動きの広い範囲をプログラムすることを可能にします。このハンドラには、ウェーハの配置、保持、転送のための事前プログラムされたシーケンスも含まれています。ケーブル内蔵のロボットアームは、無制限の動きとケーブル管理を提供し、あらゆる方向にウェーハを安全に取り扱うことができます。結論として、FESTO 3371404-1ウェハンドラは、自動ウェハハンドリングのための効率的で正確で費用対効果の高いソリューションを提供します。その耐久性のある構造と汎用性の高いプログラミングオプションにより、ユーザーはウェーハ処理システムに簡単に統合でき、カセットまたは他の機器間でウェーハをスムーズかつ正確に転送できます。