中古 FANUC S900W #9083603 を販売中
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FANUC S900W Wafer Handlerは、あらゆるサイズのウェハを効率的かつ費用対効果の高い方法で処理するように設計されたモジュラー機器です。これは、プロセス間で超薄型ウェーハを損傷することなく転送するために使用されます。このシステムは、ロボットアームを使用して、ハンドラの搬送プレート上にウェーハを選択、配置、および方向付けします。輸送プレートには、2方向移動とXY 4軸移動という2つの輸送メカニズムがあります。この2方向機構を使用して、角度範囲が0から360度、重複範囲が180度の任意の方向にウェーハを移動させることができます。4軸メカニズムは、ウェーハを搬送板に正確に位置合わせするために使用されます。また、ウェーハとロボットのインターフェースとしても機能します。S900Wには、ロボットアームの動きを制御するためのタイマーを内蔵したマイクロプロセッサが内蔵されています。ロボットアームの動きを監視するFANUC技術も搭載しています。このハンドラは、さまざまなユーザーフレンドリーな設定を使用して、簡単なプログラミングを可能にします。また、ウェーハスキャナを内蔵した自動ウェーハシフト機能により、ウェーハを正確に配置できます。また、粒子の存在を検知し、ウェーハの破損を防止する汚染検出ユニットも付属しています。FANUC S900W Wafer Handlerにはモジュール式の設計もあり、拡張とカスタマイズが可能です。それは他の機械および生産システムへの自動インターフェイスが装備されています。シリアルポート、イーサネット、またはRS485経由の通信をサポートします。S900Wは他の生産システムに接続することができ、生産ワークフローを設計する際にさまざまなオプションをユーザーに提供します。FANUC S900Wは、要求の厳しいプロセスで超薄型ウェーハを取り扱う企業に最適です。自動化、高度な機能、カスタマイズオプション、精度により、ウエハハンドリングに最適なソリューションです。機械のモジュール設計は、生産プロセスで機械を迅速に拡張または追加する必要がある企業にとっても魅力的なソリューションです。ユーザーフレンドリーなセットアップとインターフェースにより、S900Wはウェーハを扱うあらゆるビジネスにとって信頼性が高く費用対効果の高いソリューションです。
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