中古 FANUC S900iAL #9083598 を販売中
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FANUC S900iALは、半導体業界で精密ウェハの搬送・位置決めに使用される部品ハンドラです。高度なロボティクス技術を駆使し、基板を1つの場所から正確に再現可能かつ正確に搬送・保管・搬送する大型・可動・剛性の高い機器です。S900iALは、6つの独立したドライブとロボットのすべての動きと同期された外部パス制御システムを介して6軸の関節運動を提供します。各ロボットアームには専用のマイクロプロセッサがあり、メインコントローラにリンクされており、ティーチペンダントも強化されています。高精度のリニアガイド、積極的に動力を与えられた伝送システム、および特別なシリアルインターフェイスはロボットの非常に速く、反復可能な精密プロセスのための基礎を形作ります。FANUC S900iALには、Tool Changer (TC)とTray Handler (TH)という2つの独立した可動部品があります。TCは、マシンの下に配置されたトレイから個々のウェーハを選択して配置するために使用され、THは何千ものウェーハを含むパレットトレイを回転して移動するために使用されます。これにより、多数の異なるウェーハの処理を迅速かつ確実に完了することができます。ロボットの高度な配置制御により、プロセス全体における反復エラー率が最小限に抑えられます。また、低塵集積のクリーンルーム環境にも優しく、騒音レベルが非常に低く、あらゆる環境での使用に適しています。ロボットのプログラミング言語は、さまざまな制御システムによって同化できるGコードであり、多様なシステムと完全に互換性があります。また、RobotWiseのようなさまざまな機能があり、腕の端に効果的で安全なアクションを提供します。さらに、SNS技術と完全に統合されており、高速なプロセス計画と効率的な運用管理を可能にします。S900iALには高速ジェネレータ駆動ドライブマシンがあり、このタイプのアプリケーションの利点と考えられています。このツールにより、ツールトレイの高速かつスムーズな回転が可能になり、最終的に生産性と精度が向上します。その高度な容量と範囲で、それはまた、より大きく重い部分を処理することができます。FANUC S900iALは半導体産業のために設計された先進的な部品ハンドラです。精度と範囲の組み合わせにより、膨大な数のウェーハと基板を迅速かつ効果的に正確に転送および保管できます。
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