中古 FANUC S430iW #9083590 を販売中

ファナックS430iWは、集積回路の製造に使用されるウエハハンドラです。それは敵対的な、クリーンルームの条件の信頼でき、安全な操作を提供するように設計されている完全に自動化されたハンドラーです。S430iWは8、12、または16インチウェーハを扱うように設計されています。これは、信頼性の高い動作を確保し、ウェーハ表面への損傷を防ぐために、トリプルグリッパリングコンセプトを使用した2グリッパーのロボット機器です。グリッパーはx-y-zレールで動作し、精密かつ正確な処理のために0。001mmの精度のサーボモータによって駆動されます。FANUC S430iWには、調整可能なロボットアームと高速操作制御モジュールが装備されています。アームは変位で最大400mmに達することができ、高速かつ円滑な動作のためにブラシレスモーターによって駆動されます。S430iWは、補間と空気圧駆動システムの組み合わせを使用して高速を維持します。FANUC S430iWは、最高解像度1。3ミクロンの高解像度カメラと低解像度150fpsのフレームレートを採用し、高速化を実現した画期的なビジョンシステムを搭載しています。ビジョンユニットは、毎秒最大25個の部品を検出し、0。1mmの精度のギャップ測定を行い、部品番号を読み取ることができます。S430iWにまたウェーハの位置および斜面のサイズを制御するための統合されたウェーハの調節機械があります。このツールには、任意の方向に移動して完璧なウェーハアライメントを確保できる一連の調整可能なステンレススチールフレームが装備されています。FANUC S430iWは、脆弱なウエハーの安全かつ確実な取り扱いを保証する空気圧アセットを備えています。また、U字型シュートを使用して粒子沈着を抑制し、紫外線照射を低減することで汚染リスクを最小限に抑える機械設計を採用しています。また、ほこりや破片からロボットとそのコンポーネントを保護するために防塵エンクロージャで構築されています。S430iWは高い操業寿命、高められたモデル信頼性および容易な装置の組み立てを提供することによって企業の最も高い生産基準を維持するように設計されています。また、ユーザーの安全とクリーンルームのコンプライアンスのために設計されています。さらに、ロボットはより大きなシステム構成に組み込むことができます。全体的に、FANUC S430iWは、敵対的およびクリーンルーム環境で信頼性の高い動作を提供する高度なロボットウェハハンドラです。その革新的なビジョンユニット、調整可能なフレーム、防塵エンクロージャは、厳しいエンジニアリング公差と包括的な安全基準を確保するように設計されています。