中古 FANUC S-800 #9083425 を販売中

FANUC S-800ウェーハハンドラは、集積回路の製造において、さまざまなサイズや種類のウェーハを取り扱うように設計された自動化装置です。3軸モーションシステムとデジタルI/Oユニットを搭載し、供給源からプロセスステーションまでウェーハの動きを制御します。S-800は、機械プラットフォーム、ウェーハフィーダ、統合された電子機器パッケージ、PLC制御機械、モーションツール、ウェーハを選択して配置するロボットアーム付き吸引ロボットで構成されています。このプラットフォームは、チップ、リードフレーム、SOIC、 QFP、 CP-48s、 QF-48sなどのさまざまなタイプとサイズのウェーハを保護するように設計されています。NPNオープンコレクタ出力を利用して外部回路とインターフェースし、オーブンとの接続性により高温処理にも適しています。サクションロボットには、小さなウエハー（50mm x 50mm以下）を正確に取り付けることができる傾斜型グリッパーツールが装備されています。ウェーハフィーダの負荷は自動的に処理のためのウェーハの連続的な流れを可能にします。フィーダー上のウェーハの存在を検出するための内部センサーと、各ムーブメントの前のロボットの向きと位置を備えています。FANUC S-800のモーションアセットは、高い位置決め精度で信頼性の高い、滑らかで振動のない動きを提供するクローズドループ速度制御を備えています。デジタルI/Oモデルは、ロボットアームの速度、加速度を制御するだけでなく、オーブンやその他の周辺機器などの外部機器を制御するために使用されます。PLC制御装置はユーザーがS-800のすべての統合された部品を制御するのに使用できる使いやすく、非常に適用範囲が広いプログラムを提供します。PLCには、要件に基づいて簡単に変更されるプログラムが含まれており、また、スムーズな動作を確保するためのアラームと診断を提供します。FANUC S-800のすべてのコンポーネントは細かく調整され、バランスが取れており、信頼性が高いです。低保守システムであり、運用には最低限のサービスが必要です。S-800 Wafer Handlerは、IC製造におけるさまざまな処理ステーション間の効率的なウェーハ処理および転送に理想的なソリューションです。