中古 FANUC Robodrill Alpha T14iB #9105110 を販売中

ID: 9105110
ヴィンテージ: 2001
Machine Control: Fanuc series 16i-M 2001 vintage.
FANUC Robodrill Alpha T14iBは、効率的で信頼性の高い処理プロセスを提供するために設計された自動ウェーハ処理装置です。MCM (Multi-Chip Module)ウェーハハンドラは、ロボットアームシステムに基づいており、FANUC B-Axisロボットコントローラを搭載しています。ロボットアームには特別に設計された機械式グリッパーが装備されており、さまざまなサイズやタイプのウェハを安全かつ正確に把握して取り扱うことができます。アームは9軸の動きを持ち、6軸の関節アームと3軸の4軸を電子ロータリードライブユニットで駆動します。アームは、ウェーハを水平面と垂直面の両方に正確に配置することができます。Alpha T14iBには、正確なウェーハ検出、アライメント、処理に特化した複数のカスタマイズ可能な高速ビジョンシステムが装備されています。これらのシステムは、さまざまなウェーハ形状、サイズ、および材料を検出し、管理することができます。視覚的なフィードバックにより、迅速かつ正確なウェーハ処理が保証されます。ロボットの3次元プログラマブル測定位置(PML)機能は、ウェーハ形状を補正し、ハンドラの製品マウント機への精度アライメントを保証します。また、PMLにはサーマルセンシングツールが内蔵されており、さまざまな表面温度を正確に検出することができ、可変ウェーハ処理速度を実現します。Alpha T14iBは、幅広い生産および処理環境で使用できるように設計されています。この統合ソフトウェアにより、ロボットアームを任意の自動生産ラインに合わせて構成することができ、完全な柔軟性と拡張性が可能になります。このロボットのモジュール構造により、あらゆる部品のメンテナンスと修理が容易になり、FANUCコントローラは人間工学と高度なプログラミング機能を強化します。ロボットアームには直感的なコマンドと制御機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスも備えています。Alpha T14iBは、信頼性の高い正確なウェーハハンドリングアセットを提供するように設計されており、さまざまなウェーハサイズと種類を扱うことができます。統合されたロボティクス技術、二軸グリッパー、PMLおよびビジョンシステムにより、正確で効率的で信頼性の高いウェハハンドリング操作が保証されます。FANUCコントローラは、プログラミング機能を強化し、さまざまな生産環境でロボットをカスタマイズするためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。
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