中古 FANUC R2000iB / F165 #9253600 を販売中

FANUC R2000iB/ F165は、効率的で信頼性の高い半導体ウェーハ処理を提供するためのウエハハンドラです。可動式軸運動装置を備えたコンパクトな設計で、半導体ウェーハの製造や試験プロセスに最適です。モーションシステムは、リジッドベースフレーム、4軸アーム、サーボ制御のリニア軸で構成されています。4軸アームはXY平面で600mm、 Z軸で最大900mmの移動範囲を持っています。アームには、エンドエフェクター実装用のフランジD型コネクタと0。02mmの精密な再現性を備えています。R2000iB/ F165にはデジタルコントロールコントロールユニットが装備されており、動き軸の精密なコントローラを可能にします。これは、ワークフローの効率と精度を最大化するのに役立ちます。また、高速ウェハハンドリング機能を備えており、1分間に最大13個のウェハーを処理できます。また、2つの独立したウェーハ位置決めモード（フラットリフトまたはランダムチルト）を提供し、異なるサイズのウェーハの取り扱いを改善します。FANUC R2000iB/ F165は、機械部品を適切に保護するキャビネットスタイルのハウジングに収納されています。高温・湿度条件に耐えられるよう設計されており、幅広いウエハハンドリング用途に適しています。高速動作時の信頼性の高い動作を確保するため、振動や騒音を低減するダイナミックバランサーを搭載しています。また、完全に統合された調整可能な空気圧式クランピングアセットを備えており、簡単で安全なウェハハンドリングを可能にします。高度なウエハハンドラとして、R2000iB/ F165は幅広い安全機能を提供します。衝突防止機能を備えており、作業中に発生する突然の負荷や物体の変化に反応することができます。また、可動部品との接触を防ぐガードシールドモデルを備えています。また、光学センサーなどの冗長安全装置を搭載し、予期しない動作の変化を検知することができます。結論として、FANUC R2000iB/ F165は、高速かつ高精度な性能を提供する信頼性の高い先進的なウェハハンドラです。コンパクトな設計、精密制御装置、調節可能な空気クランプシステム、幅広い安全機能により、半導体ウェーハ加工アプリケーションに最適です。