中古 FANUC R2000iB 185L #9266521 を販売中

FANUC R2000iB 185Lは、製造工程を通じて半導体ウェハーの効率的な移動を促進するために設計されたウェハハンドラです。ワンアームロボット搭載ウェーハ搬送ユニット、統合ウェーハ位置決め装置、自動ウェーハアライメント/オリエンテーションシステムで構成されています。ワンアームロボットには専用の二軸ポジショニングアームが装備されており、積み降ろし作業中にウェーハを正確に位置決めおよび整列させることができます。ウエハ位置決めユニットを内蔵し、直径300mm （10インチ）までの基板に高精度な位置決めソリューションを提供します。ウェーハアライメント/オリエンテーションマシンは、ローディングおよびアンロード作業中の正確な配置のためにウェーハを迅速かつ正確に方向付けおよび位置決めするために装備されています。ウェハハンドリングロボットは、効率的で信頼性の高いウェハハンドリングのためのシングルアーム設計で設計されています。コンパクトな構造サイズを誇り、優れた柔軟性と制御性を実現し、ロボットがウェーハを正確に位置合わせできる二軸位置決めアームを備えています。それは精密な動きおよび改善された安定性を保障する2つの独立したドライブシステムが装備されています。さらに、回転アームベースの設計により、より迅速かつスムーズな位置決めとロード/アンロードプロセスを実現します。また、頑丈なスチールフレームで設計されており、ヘビーデューティ操作をサポートし、振動のない性能を確保します。統合されたウェーハ位置決めツールは、高精度を誇り、タッチスクリーンで簡単に操作でき、レーザー誘導ウェーハ位置決めアセットを使用して、迅速かつ正確な位置決めを実現します。このユニットには、2軸振動ダンピングモデルと2つの独立したセンサーが装備されており、潜在的な位置ずれを防ぎます。ウェーハアライメント/オリエンテーション装置は、ローディングおよびアンロード作業中にウェーハを正確に配置するために、迅速かつ正確にウェーハを配置するように設計されています。また、ミスアラインメントの検出と修正には、2つの独立したセンサーが使用されています。結論として、R2000iB 185L Wafer Handlerは製造プロセス全体にわたって半導体ウェーハの効率的かつ正確な移動を提供します。統合されたウェーハ位置決めシステム、両軸位置決めアーム、およびウェーハアライメント/オリエンテーションユニットはすべて組み合わせて、ウェーハの迅速かつ正確な移動を保証します。そのワンアームロボットは頑丈で耐久性があり、頑丈な操作に適しています。一方、2軸振動ダンピングマシンと2つの独立したセンサーは、潜在的な不一致のリスクを最小限に抑えます。