中古 FANUC R2000iA 210F #9182818 を販売中

FANUC R2000iA 210Fは、ファナックロボティクスの第4世代ウェーハハンドラで、半導体製造の高度なアプリケーション向けの完全なウェーハハンドリングソリューションを提供しています。シリコンやGaAsなどの浅いポケット深さのウェーハの取り扱いに最適です。R2000iA 210Fウェハハンドラは、最大210 kgのペイロード容量と最大2。4 mのリーチを備えています。精密8軸動作を備えており、サイクルごとに最大3つのウェハーを処理できます。また、ウエハ位置を正確に検出するための完全統合ビジョンシステムを搭載しています。FANUC R2000iA 210Fは、パワフルでダイナミックな制御モジュールを使用して、マニュアル処理を最小限に抑えながら、高速で効率的で正確な動作を実現します。そのパワーモジュールは、すべてのロボティクスおよびファクトリーオートメーションアプリケーションに完全に統合されたソリューションを提供します。高解像度サーボコンポーネント、高速パルスコントローラ、高度なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えています。さらに、リアルタイムの安全監視機能を備えた動的トルク制御など、高度な安全機能を備えています。R2000iA 210Fは、ウェハハンドリング構成に最大限の柔軟性を提供するモジュラー設計を備えています。このマシンには、さまざまな交換可能なエンドエフェクター、パレット、および搬送部品が装備されており、迅速で簡単なウェーハのセットアップと構成が可能です。このツールには、配線の複雑さを最小限に抑え、幅広いウエハプロセスで互換性を提供するモジュラー配線アセットも装備されています。このモデルは、高精度で信頼性の高い性能を提供するために、幅広い高度なセンシングおよび制御コンポーネントで構成されています。ビジョン装置により、1サイクルにつき最大3つのウェーハを迅速かつ正確にウェーハのアライメントおよび検出できます。また、危険検知や緊急停止機能などの安全機能も内蔵しています。さらに、このユニットにはデータロギング機能が装備されており、ポストサイクル分析によりエラーを特定し、最適な動作条件を確保することができます。FANUC R2000iA 210Fは、過酷な工場環境で動作するように設計されており、温度や環境の変化に耐えると評価されています。堅牢な構造と耐候性材料により、半導体製造の信頼性の高いウェハハンドリングソリューションを提供します。さらに、FANUCのグローバルサービスとサポートネットワークに支えられ、熟練した技術者やインフラへのアクセスを提供してメンテナンスと支援を提供します。